蒸發(fā)源
系列：HCL

全金屬密封 e-Gun™。該源提供 3、4、5 plus 坩堝版本，允許對(duì)多達(dá) 5 plus 材料進(jìn)行順序沉積。標(biāo)準(zhǔn)安裝在 12 英寸外徑的 CF 法蘭上，包括自動(dòng)分度器以及所有機(jī)械和電氣連接。安裝在 10cc 及更小的 15 英寸 O.D CF 法蘭上。

蒸發(fā)源
系列：HCL

高容量（HC 系列）線性多坩堝線性電子槍™

HCL 系列線性 e-Gun 是一款全金屬密封 e-Gun™。該源提供 3、4、5 plus 坩堝版本，允許對(duì)多達(dá) 5 plus 材料進(jìn)行順序沉積。標(biāo)準(zhǔn)安裝在 12 英寸外徑的 CF 法蘭上，包括自動(dòng)分度器以及所有機(jī)械和電氣連接。安裝在 10cc 及更小的 15 英寸 O.D CF 法蘭上。

兼容 UHV

• 金屬密封，完全兼容 UHV，測(cè)量極限壓力：2 x 10-11 Torr。
• 270° 光束偏轉(zhuǎn)
• 燈絲完全隱藏，以確保最大限度地防止雜散顆粒引起的短路。
• 輕松更換燈絲
• 燈絲對(duì)準(zhǔn)工具可在發(fā)射器組裝過程中保持關(guān)鍵的燈絲公差，從而實(shí)現(xiàn)快速準(zhǔn)確的燈絲更換。
• 永磁梁定位
• 主光束位置由永磁體控制;電磁鐵僅用于精確定位和光束掃描。

規(guī)格

• 最大功率 15 kW
• 發(fā)射電壓 -6 至 -15 kV
• 發(fā)射電流 0 至 1 A
• 燈絲 700 W
• 電子束偏轉(zhuǎn) 270°
• 光束光斑尺寸 直徑約為 .25“ 的緊密光束
• 蒸發(fā)速率 1 克/分鐘 @ 10 kW，36,000 ?/分鐘 鋁 @ 10 英寸（250 毫米）源到基板的距離
• 水 3 加侖/分鐘，25 psi 壓差
• 坩堝材質(zhì) OFE 銅
• 烘烤溫度 230°C

坩堝體積選項(xiàng)：

• 7cc、15cc、25cc、40cc 和 75cc。
• 可根據(jù)要求提供定制的 HCL 系列坩堝尺寸和配置。

示例模型如下：