美國Thermionics, e-Gun™,電子槍TM , 多刀位,RCR 系列 3 kW 多坩堝旋轉噴槍™

美國Thermionics, e-Gun™,電子槍TM , 多刀位,RCR 系列 3 kW 多坩堝旋轉噴槍™

RCR 系列 3 kW 多坩堝旋轉噴槍™

RCR 系列 3 kW 多坩堝旋轉噴槍™

新的 Thermionics 研究容量系列 3 kW 多坩堝旋轉電子槍™提供增強的光束穩定性和高效的 XY 掃描,坩堝完全覆蓋,自動分度器(單獨出售)提供自動定位功能。

特征

  • 真正的 XY 清掃,坩堝完全覆蓋
  • 源附帶的掃頻線圈
  • 增強的光束準直
  • 插件發射器模塊
  • 增強的高穩定性冷卻
  • 交叉污染屏蔽
  • 堅固的設計
  • 可選的自動索引器

多坩堝 e-Gun 的工作原理與單坩堝源相同,具有以下優點:

  • 蒸發劑供應量大 — 當每個坩堝都填充相同的源材料時,可以在單個真空循環中蒸發增加的蒸發劑體積。
  • 在一個真空循環中沉積多達八種不同的材料 — 可以在一個真空循環中將不同的材料放入每個坩堝中,并按任何順序沉積。沉積速率與單個坩堝模型的沉積速率相同。一次只加熱一個坩堝。單絲保持靜止,坩堝頭由驅動手柄分度到位。因此,蒸發總是來自真空室中的完全相同的位置。非活性坩堝通過磁極片與加熱的坩堝隔開,從而消除了坩堝之間的污染。

兼容高真空

金屬和彈性體密封件,測量的基壓:2 x 10-9托。

可互換坩堝

主坩堝輪可以從源的頂部拆下,而無需完全拆卸源。這種靈活性允許現場升級。

特價

所有多坩堝電子噴槍都可以安裝在更大直徑的 ConFlat 或矩形 PyraFlat 法蘭上,單個或背對背。

規格

工作壓力 低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想選擇
束電壓 4,000 伏
束流 0–750 mA 連續可變
最大功率 3,000 瓦
冷卻水 1.5 加侖/分鐘
最大烘烤溫度 120°C (150°F)
坩堝體積 2.24 cc x 4、6 或 8 個坩堝

安裝配置

每個 e-Gun™ 都提供三種標準安裝配置:

  • e-Gun™ 安裝在 PyraFlat 或 ConFlat 金屬密封型法蘭上,使用標準 OFE 銅墊圈
  • e-Gun™ 帶有 1 英寸直徑的螺栓式安裝座,可通過 1 英寸直徑的孔安裝,并由壓縮 O 形圈密封
  • 單獨使用 e-Gun™,無需安裝法蘭

請在下訂單時指定安裝配置;成本可能不包括螺栓型或法蘭型安裝。

通常提供其他安裝法蘭、配置和幾何形狀,請致電工廠了解更多信息。

訂購信息

型號 坩堝
RCR0304-SD 4
RCR0304-BD 4
RCR0306-SD 6
RCR0306-BD 6
RCR0308-SD 8
RCR0308-BD 8

注意:SD 表示側驅,BD 表示底驅


Related posts