美國Thermionics, e-Gun™,電子槍TM , e-Gun™ – 單刀槽,RCRF 系列 3 kW 桿式電子槍™

美國Thermionics, e-Gun™,電子槍TM , e-Gun™ – 單刀槽,RCRF 系列 3 kW 桿式電子槍™

RCRF 系列 3 kW 桿式電子槍™

蒸發源
系列：RCRF

3 kW RCRF 系列桿式電子噴槍™使用直徑達 3/8 英寸的棒狀蒸發源材料，通過外部線性饋通連續送入坩堝。薄膜厚度可以使用速率監視器進行控制，并且可以安裝在各種法蘭上。

蒸發源
系列：RCRF

3 kW 桿式電子槍™

3 kW RCRF 系列桿式電子噴槍使用直徑達 3/8 英寸的棒狀蒸發源材料，通過外部線性饋通連續送入坩堝。薄膜厚度可以使用速率監視器進行控制，并且可以安裝在各種法蘭上。

兼容 UHV

金屬密封，完全兼容 UHV，測量極限壓力：2 x 10-11托。

安裝和配置

  • 3 kW 桿式 e-Gun 可以在任何方向安裝和操作，包括倒置（取決于材料）
  • 照片中顯示的桿式 e-Gun 可以穿過 2.5 英寸外徑的管子
  • 提供用于包圍 e-Gun 的可選低溫護罩
  • 多個桿式 e-Gun 可以并排安裝
  • 可提供定制設計，請咨詢工廠

Knudsen 細胞置換

e-Gun 可以蒸發難蒸發的材料，即：碳、鈮和硅。

棒式電子噴槍，配有所有必要的公用設施和機械饋通件，安裝在 4.5 英寸外徑的 ConFlat 安裝法蘭上，可直接替代 Varian/Intevac、Perkin-Elmer、Riber、EPI 和 VG 系統上現有的克努森電池爐。

請致電討論您的具體應用要求。

規格

特征 規范
工作壓力 低于 5 x 10-5Torr 是最佳操作的理想選擇;完全兼容 UHV 的設計
光束電壓 4,000 伏
束流 0–750 mA
連續可變
最大功率 3 千瓦 @ 4 kV
冷卻水 1/2 加侖/分鐘
最大烘烤
溫度		 230°C （446°F）
饋入要求 兩個 7 kV 50 A
坩堝體積 直徑為 1/4 英寸或 3/8 英寸的桿
e-Gun 尺寸 2.25 英寸直徑 x 2.95 英寸長

安裝配置

每個 e-Gun 都提供三種標準安裝配置：

  • e-Gun 安裝在 PyraFlat 或 ConFlat 金屬密封型法蘭上，使用標準 OFE 銅墊圈
  • e-Gun 帶有 1 英寸直徑的螺栓式安裝座，可通過 1 英寸直徑的孔安裝，并由壓縮 O 形圈密封
  • 單獨使用 e-Gun，無需安裝法蘭

請在下訂單時指定安裝配置;成本可能不包括螺栓型或法蘭型安裝。

通常提供其他安裝法蘭、配置和幾何形狀，請致電工廠了解更多信息。

訂購信息

型號 描述
RCRF0325 僅限桿式 e-Gun
RCRF0325/SK 桿式 e-Gun，帶有所有公用、電氣和機械饋入裝置

 


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