Thermionics LaboratoryFMC系列真空電氣饋通件,電流饋入裝置
Thermionics FMC 系列中電流電饋入裝置
這些饋入件用于將大量電力傳輸到真空系統的各種應用中。饋通導體由 OFE 銅制成，有兩種樣式：實心管和空心管。管選項允許水冷或特殊同軸結構。
提供 1、2、3 或 4 芯，帶 2.75“ 外徑法蘭和單芯，帶 1.33” 外徑法蘭。
- 最大電流：
- 150 A 實心 1/4 英寸（桿）
- 10 A 1/4“（管 – 0.032 壁厚）
- 最大電壓：5,000 V
- 溫度范圍：-200°C 至 450°C
- 需要 PMC-150 連接器
Thermionics FHC 系列大電流電氣饋通件
這些饋通件為真空室提供大電流路徑。導體由 OFE 銅制成，提供水冷和實心導體型號。
- 最大電流：600 A1,600 A（水冷）
- 最大電壓：3,000 V（低于 10-4托爾）
- 2.75“ 外徑法蘭
- 溫度范圍：-200°C 至 450°C
- 需要 CMC-150 連接器
Thermionics FHV 系列高壓電氣饋通裝置
Thermionics FHV 系列饋入裝置提供對真空室的高壓通道。它們包括單導體或雙導體型號，帶有配接外部連接器。
| 型 | 法蘭外徑 | 導體 | 最大電壓 | 最大電流 |
|---|---|---|---|---|
| FHV.5-133-2 | 1.33 ” OD | 2 | 500 伏直流電 | ?10A |
| FHV3-133-2 | 1.33 “OD | 2 | 3,000 伏直流電 | ?15A |
* 這些電壓額定值為 10-4?Torr
Hanks Hydra Static系列多坩堝電子槍通過高效利用空間，實現了四種或更多不同材料的復雜共沉積工藝和共蒸發。Hanks Hydra Static系列多坩堝電子槍獨特的模塊化磁性設計能夠更加高效地生成電子束。Hyper-Unimelt 200 Hz 掃描技術可以消除隧道效應和源材料噴發問題。插入式發射器組件和掃描線圈組件使得蒸發源更易于維護。
Hanks Hydra Static系列多坩堝電子槍具備簡單的燈絲校準、更高效的電子準直、最小化燈絲變形以及消除電子試驗的優點，非常適合用于共蒸發！
滿足專利：4,835,789；4,891,291；4,947,404
Hanks Hydra Static系列多坩堝電子槍主要特征：
· 可同時操作六（6）種不同材料（可根據要求提供其他坩堝設計）
· 全金屬密封，完全兼容超高真空（UHV），基底壓力測量值：2×10^-11 Torr
· Hydra™ 設計消除了相鄰源之間的相互作用
· 專利磁性設計允許源頭靠近，實現均勻涂層和材料相互作用
· 每個坩堝源都獨立水冷，以防止蒸汽積聚
· 每個源坩堝有獨立的掃描線圈，確保每個源的獨立操作完整性，消除相鄰源的串擾干擾
· 可拆卸坩堝煙囪設計，方便清理沉積物
· 水冷發射器基板和坩堝
· 提供10kW或15kW選項
· 坩堝容量：10cc、15cc、40cc（可根據要求提供定制尺寸）
· 270°光束偏轉，燈絲外殼隔離任何顆粒暴露
· 動態坩堝設計可選
· 易于拆卸的發射器組件設計
· Thermionics的Hyper-Unimelt掃頻設計（最佳低速或高速控制）
· 提供水平和垂直源法蘭安裝設計
· 消除光束彎曲
· UHV級掃描線圈隨源頭提供（200 Hz）
· 消除極片
· 簡單的燈絲校準
· 更高效的電子準直
· 最小燈絲變形
· 消除電子尾巴
· 完全封閉的發射器組件可防止顆粒積聚
· 每個源獨立水冷
· 設計消除串擾干擾
