蒸發(fā)源
系列：HCCS

Compact Source 10 cc 電子槍™

我們的 HCCS 系列緊湊型電源可保護(hù)發(fā)射器和 H.V. F/T 在安裝和服務(wù)過(guò)程中免受損壞和短路。H2O 冷卻系統(tǒng)增強(qiáng)了傳熱，從而提高了速率穩(wěn)定性并防止損壞電子束源。這種緊湊的離子源設(shè)計(jì)易于安裝。

圖為 HCCS 10 cc：

特征：

• 10 kW（最大 -6kV 至 -10kV）e-Gun 源
• 完全屏蔽的發(fā)射器和 H.V. F/T
• 兼容高真空 （HV） 和超高真空 （UHV）
• 低釋氣
• 用于薄膜和其他高精度沉積應(yīng)用的高純度蒸發(fā)。
• 無(wú)光束掃描，專為金屬材料設(shè)計(jì)
• 源快門（氣動(dòng)或手動(dòng)）和 HV 饋入裝置
• 緊湊型源可以轉(zhuǎn)換為 1“ 直徑的棒式饋電源