美國Thermionics, e-Gun™,操作、運動和樣品處理,饋通件 ,RNN 旋轉密封,RNN-600™ 系列

美國Thermionics, e-Gun™,操作、運動和樣品處理,饋通件 ,RNN 旋轉密封,RNN-600™ 系列

差動泵旋轉密封 （RNN） 通過 UHV 系統的真空壁提供 360° 連續旋轉自由度。

RNN™ 系列差動泵送旋轉密封

差動泵旋轉密封 （RNN） 通過 UHV 系統的真空壁提供 360° 連續旋轉自由度。RNN 具有兩級差動泵送，由特殊密封表面上的石墨浸漬、膨脹、特氟龍?密封件隔離。預緊的滾珠軸承組可精確控制旋轉平臺的位置。

RNN 提供蝸桿驅動微調選項。這允許更輕松、更準確地調整角度。RNN 還提供帶消隙步進或同步電機驅動的產品。

列出了內徑最大為 12 英寸的 RNN。更大的 ID 具有卓越的性能。特殊應用請咨詢工廠。

規格

  • 標準凈內徑為 1.53 英寸至 12 英寸的型號，可根據要求提供更大尺寸
  • 可烘烤至 150°C
  • 固定法蘭和旋轉法蘭，螺紋
  • 厚度約為兩個 ConFlat 型法蘭的厚度
  • 2 級差壓泵送
  • 極限壓力 10-11Torr 系列
  • 0–360° 刻度，帶游標

RNN-400 和更大型號的典型性能規格

  • 分辨率：<0.004°
  • 重復精度：<0.008°
  • 背隙：<0.035°

可讀性規格

  • 標準刻度：1.0°
  • 機械計數器：0.1°
  • 需要微步電機驅動才能獲得最大分辨率

選項

  • 微調蝸桿傳動
  • 微調數字讀數，0.1° 讀數，機械，不可復位
  • 提供機械計數器選項
  • 帶手動旋鈕的消隙步進電機驅動每整步 0.018°（RNN-150/MS 為 0.0225°/全步）
  • 可在 /FA 裝置上提供定制的泵出管長度和曲軸長度

負載

下面列出了標準的最大負載。在特定應用下可以處理較大的負載。請咨詢工廠以獲取定制應用程序。

  • 有效載荷的重心位于裝置極軸的“X”范圍內，其中 X 等于 RNN 內徑的 10%。
  • 有效載荷的重心位于水平安裝裝置上旋轉法蘭的“Y”距離內，其中 Y 是法蘭內徑。
  • 真空外部有效載荷的總體最大尺寸“A”為：
    垂直操作：7 x 法蘭外徑 水平操作：5 x 法蘭外徑 倒置操作：7 x 法蘭外徑

負載位置

表 1.RNN 系列差動泵旋轉密封件

（包括可拆卸的調節扳手）

身份證 法蘭
外徑		 一個 B C D E F G H 型號
1.53 2.75 4.50 2.99 1.0 3.18 2.75 .49 .13 60° RNN-150 型
1.53 2.75/61 6.00 2.99 1.34 3.33 2.75 .15 .13 45° RNN-150/6型
2.53 4.5 5.75 3.64 1.36 3.58 4.50 .49 .03 45° RNN-250 系列
2.53 4.5/61 6.00 3.64 1.52 3.71 4.50 .33 .03 45° RNN-250/6 型
4.03 6 7.75 4.57 1.68 4.34 6.02 .37 .06 45° RNN-400 系列
6.03 8 10.25 6.16 1.74 5.70 8.00 .42 .13 54° RNN-600 系列
8.00 10 12.05 7.03 1.94 6.70 10.00 .42 .13 45° RNN-800型
10.00 13.25 15.75 8.81 2.37 8.50 13.28 .29 .13 24° RNN-1000 系列
12.00 14 20.00 – 3.34 – – – – – RNN-1200型

尺寸（英寸）
1分別表示安裝法蘭尺寸

表 2.RNN/FA 差動泵送旋轉密封，帶微調 1

身份證 法蘭
外徑		 一個 B C D E F G H 我 驅動
比		 型號
1.53 2.75 5.13 3.38 1.00 4.95 2.75 .49 0.37 60° 3 80:1 RNN-150/FA 系列
1.53 2.75/62 6.00 3.84 1.34 5.32 2.75 .15 0.37 45° 3 100:1 編號 RNN-150/6/FA
2.53 4.5 6.38 4.20 1.36 6.11 4.50 .49 0.41 45° 3 100:1 RNN-250/FA 系列
2.53 4.5/62 6.38 4.20 1.52 6.11 4.50 .33 0.41 45° 3 100:1 編號 RNN-250/6/FA
4.03 6 8.50 8.25 1.68 9.28 6.02 .37 0.54 45° 4 100:1 RNN-400/FA 系列
6.03 8 10.25 8.50 1.74 9.93 8.00 .42 1.10 54° 5 100:1 RNN-600/FA 系列
8.00 10 12.75 9.56 1.94 11.50 10.00 .42 1.10 45° 5 100:1 RNN-800/FA 系列
10.00 13.25 17.00 11.86 2.37 17.25 13.28 .29 .91 24° 7 100:1 RNN-1000/FA 系列
12.00 14 咨詢工廠 RNN-1200/FA 系列

尺寸（英寸）

1微調裝置采用蝸桿傳動，在 RNN-400 和更大型號上具有動態反沖功能。它們帶有大旋鈕和曲柄手柄。
2分別表示安裝法蘭尺寸

表 3.RNN/MS 或 /MY 差動泵浦旋轉密封件，帶抗反沖/MS 步進或 /MY 同步電機驅動 1

身份證

法蘭

 

外徑

一個

B

C

D

E

F

G

H

我

駕駛

 

率

型

 

不。
1.53 2.75 5.13 10.00 1.00 9.97 2.75 .49 0.74 60° 3.39 80:1 RNN-150/MS 或 /MY
1.53 2.75/62 5.13 10.00 1.34 9.97 2.75 .15 0.74 45° 3.39 100:1 RNN-150/6/MS 或 /MY
2.53 4.5 6.38 10.10 1.36 8.30 4.50 .49 0.41 45° 3.39 100:1 RNN-250/MS 或 /MY
2.53 4.5/62 6.38 10.10 1.52 8.30 4.50 .33 0.41 45° 3.39 100:1 RNN-250/6/MS 或 /MY
4.03 6 8.50 9.77 1.68 11.69 6.02 .37 0.54 45° 3.39 100:1 RNN-400/MS 或 /MY
6.03 8 10.20 10.13 1.74 11.69 8.00 .42 1.10 54° 3.39 100:1 RNN-600/MS 或 /MY
8.00 10 12.75 11.39 1.94 11.69 10.00 .42 1.10 45° 3.39 100:1 RNN-800/MS 或 /MY
10.00 13.25 咨詢工廠 RNN-1000/MS 或 /MY
12.00 14 咨詢工廠 RNN-1200/MS 或 /MY
18.00 24 咨詢工廠 RNN-1800/MS 系列
24.00 34 咨詢工廠 RNN-2400/MS 系列

尺寸（英寸）

1電機驅動單元采用蝸桿驅動，并且都是動態消隙，電機后部帶有手動旋鈕
2分別表示安裝法蘭尺寸

選項

機械計數器

  • 將數字讀數添加到微調或電機驅動單元
  • 0.1° 讀數，機械，不可復位
  • 可從側面查看
  • 因安裝在平臺上的設備阻礙了度級的視野而引起的困難的解決方案
  • 選擇 /MC 選項時，不包括游標刻度

閥組系統

  • 允許第一級泵排空第二級泵
  • 包括：兩個改進的 1.33 英寸外徑法蘭接頭;BVV-025 可烘烤閥門;柔性金屬管道
  • 在 RNN 平臺上組裝

2 l/s 附件離子泵組件

  • 與閥組系統一起使用
  • 允許連續泵送 RNN
  • 包括 Alnico 磁鐵
  • 需要離子泵控制單元

離子泵控制單元

  • 用于 2 l/s 附件離子泵組件
  • 電源輸入：115 VAC，60 Hz 或 230 VAC，50 Hz（訂單時指定）
  • 電源輸出：5 kV DC
  • 包括 HV 同軸電纜和電源線

 

 


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