RCR Series 3 kW Multiple Crucible Rotary e-Gun™

新的Thermionics研究能力系列，3 kW多坩堝旋轉(zhuǎn)e-Gun™，提供了增強(qiáng)的光束穩(wěn)定性和高效的XY掃描，具有完整的坩堝覆蓋范圍，并可通過單獨(dú)出售的自動分度器進(jìn)行自動定位。
特征
真正的XY掃掠，完全覆蓋坩堝
掃頻線圈隨電源一起提供
增強(qiáng)光束準(zhǔn)直
插入式發(fā)射器模塊
增強(qiáng)的高穩(wěn)定性冷卻
交叉污染屏蔽
堅固的設(shè)計
可選自動索引器

多坩堝電子槍的工作原理與單坩堝源相同，具有以下優(yōu)點(diǎn)：
大量的蒸發(fā)劑供應(yīng)——當(dāng)每個坩堝都裝有相同的源材料時，可以在一個真空循環(huán)中蒸發(fā)更多的蒸發(fā)劑。
在一個真空循環(huán)中沉積多達(dá)八種不同的材料——在單個真空循環(huán)中，可以將不同的材料放入每個坩堝中，并以任何順序沉積。沉積速率與單坩堝模型的沉積速率相同。一次只加熱一個坩堝。單絲保持靜止，坩堝頭通過驅(qū)動手柄定位。因此，蒸發(fā)總是從真空室中完全相同的位置開始。非活性坩堝通過磁極片與加熱的坩堝屏蔽，從而消除了坩堝之間的污染。

高真空兼容
金屬和彈性體密封，測量的基礎(chǔ)壓力：2 x 10-9Torr。
可互換坩堝
主坩堝輪可以從源的頂部移除，而無需完全拆卸源。這種靈活性允許現(xiàn)場升級。

所有多坩堝電子槍都可以安裝在直徑較大的ConFlat或矩形PyraFlat法蘭上，單法蘭或背對背法蘭。

Specifications

安裝配置
每個e-Gun™都有三種標(biāo)準(zhǔn)安裝配置：
e-Gun™安裝在PyraFlat或ConFlat金屬密封型法蘭上，該法蘭使用標(biāo)準(zhǔn)OFE銅墊片
e-Gun™配備直徑為1英寸的螺栓式安裝座，通過直徑為1”的孔安裝，并由壓縮O型圈密封
e-Gun™單獨(dú)使用，無安裝法蘭
請在下單時指定安裝配置；成本可能不包括螺栓式或法蘭式安裝。

Ordering Information