EC系列XYZ機械手以最低的成本提供高精度的定位，可容納1.39英寸和1.87英寸ID波紋管，最大行程為6英寸，有效負載能力為10磅。
特征
- 可完全組裝至200°C烘烤；沒有用于建筑的鑄件
- 硬化鋼X和Y交叉滾子導軌
- 雙0.75“ OD硬化不銹鋼Z導桿
- 鋁制舞臺結構
- 僅有不銹鋼的材料暴露于真空中
- 全位置操作
?X和Y軸
- X和Y行程為±0.5英寸，圓形，預裝微米級耦合，0.001微米刻度
- 可烘烤至200°C的千分尺
Z軸
- 0.100“ /旋鈕調節
?技術指標
| 基礎法蘭外徑 | 波紋管 I.D. |
行程 法蘭 |
Z行程 | 型號。 |
| 2.75 | 1.39 | 2.75 | 2 | EC-B275C-T275T-1.39-2 |
| 2.75 | 1.39 | 2.75 | 4 | EC-B275C-T275T-1.39-4 |
| 2.75 | 1.39 | 2.75 | 6 | EC-B275C-T275T-1.39-6 |
| 4.5 | 1.87 | 2.75 | 2 | EC-B450C-T275T-1.87-2 |
| 4.5 | 1.87 | 2.75 | 4 | EC-B450C-T275T-1.87-4 |
| 4.5 | 1.87 | 2.75 | 6 | EC-B450C-T275T-1.87-6 |
?
精度
| 軸 | 千分尺 刻度 |
解析度 | 重復性 | 反沖 | 調整 |
| XY | 0.001″ | <0.001″ | <0.00015″ | <0.00015″ | 標準 千分尺 |
| ? | 0.0005″ | <0.0005″ | 0.0005″ | 0.0007″ | 旋鈕調整 |
| XY | 0.0001″ | <0.0001″ | <0.00015″ | <0.00015″ | 可選 大千分尺 |
選件
6英寸基礎法蘭-?型號：-B600C
- 將基礎法蘭更改為外徑6.0″
- 可以與任何型號一起訂購此選項
具有5個微型端口的6英寸基礎法蘭-?型號：-B600MC
- 通過5個微型端口將基礎法蘭更改為外徑為6.0″
- 該選項只能在ID為1.39″的波紋管中訂購
XY千分尺，±0.5″行程- 型號：/ LM
- 帶有0.0001″分隔的大千分尺
- 一套兩個
機動化
提供步進和同步電動機驅動器選項
