美國Thermionics HCCS系列緊湊型電源可保護發射器和高壓F/T在安裝和維修過程中免受損壞和短路。H2O冷卻系統增強了熱傳遞,從而提高了速率穩定性并防止了對電子束源的損壞。這種緊湊型電源的設計便于安裝。
HCCS系列緊湊型源10cc電子槍主要特征:
10 kW(最大-6kV至-10kV)電子槍電源
完全屏蔽的發射器和高壓F/T
兼容高真空(HV)和超高真空(UHV)
低放氣
用于薄膜和其他高精度沉積應用的高純度蒸發。
無光束掃掠,專為金屬材料設計
源快門(氣動或手動)和高壓饋通
緊湊型源可以轉換為直徑為1英寸的棒饋源