美國Thermo Electric晶圓TC-350H(-50°C至350°C)、TC-350晶圓、熱電偶技術(shù)
儀表化晶片(熱電偶、鍵合晶片或RTD)在半導(dǎo)體加工設(shè)備中得到應(yīng)用，其中了解和控制晶片表面的溫度是至關(guān)重要的。
Thermo Electric公司的儀表化晶片正被用于許多行業(yè)，包括快速熱處理(RTP)、快速熱退火(RTA)、曝光后烘烤(PEB)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、離子注入、太陽能電池和許多其他熱驅(qū)動工藝。
Thermo Electric公司擁有設(shè)計和安裝熱電偶的專業(yè)知識，熱電偶安裝在各種襯底上，包括硅、AlTiC、玻璃、陶瓷和其他提供的裸襯底，
涂覆的或圖案化的基底。其他定制基板，形狀和尺寸可用。
TC-350H高性能—溫度范圍(-50°C至350°C)
TC-350H使用盡可能小的傳感元件來減少熱質(zhì)量并增加每個傳感器的響應(yīng)時間。精心選擇用于制造傳感器的材料，以獲得最高的精度和最大的傳感器間一致性。
這種設(shè)計在了解和控制硅晶片表面的溫度至關(guān)重要的情況下得到應(yīng)用。大多數(shù)制造商將他們的傳感器嵌入晶片的核心。該產(chǎn)品將測量重點放在發(fā)生最重要過程的晶圓表面。使用該產(chǎn)品時，您可以通過最精確的傳感元件位置獲得更快、更準確的響應(yīng)時間。
雖然這些產(chǎn)品通常用于整個半導(dǎo)體行業(yè)，但這項技術(shù)也可用于測量任何其他二維表面的溫度均勻性。
TC-350晶圓產(chǎn)品采用熱電偶技術(shù)來產(chǎn)生最準確和可靠的讀數(shù)。
TC-350D重型—溫度范圍(-50°C至350°C)
TC-350D使用最堅固的部件來延長這些易碎產(chǎn)品的使用壽命。精心選擇用于制造傳感器的材料，以獲得最高的精度和最大的傳感器間一致性。
這種設(shè)計在了解和控制硅晶片表面的溫度至關(guān)重要的情況下得到應(yīng)用。大多數(shù)制造商將他們的傳感器嵌入晶片的核心。該產(chǎn)品將測量重點放在發(fā)生最重要過程的晶圓表面。使用該產(chǎn)品時，您可以通過最精確的傳感元件位置獲得更快、更準確的響應(yīng)時間。
雖然這些產(chǎn)品通常用于整個半導(dǎo)體行業(yè)，但這項技術(shù)也可用于測量任何其他二維表面的溫度均勻性。
TC-350晶圓產(chǎn)品采用熱電偶技術(shù)來產(chǎn)生最準確和可靠的讀數(shù)。
PRODUCT TEMPERATURE RANGES
Low Temp: -150 to 700°C
High Temp: -150 to 1,200°C
THERMOCOUPLE CALIBRATION (ACCURACY)
● Type K: (±1.1°C or 0.4%) Range -270 to 1,372°C
● Type N: (±1.1°C or 0.4%) Range -270 to 1,300°C
● Type E: (±1.0°C or 0.4%) Range -270 to 1,000°C
● Type T: (±0.5°C or 0.4%) Range -270 to 400°C
● Type R/S: (±1.5°C or 0.25%) Range -50 to 1,768°C
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