高達1200°C的晶圓
Wafers up to 1200 °C
TC-1200 —高溫/高純度—溫度范圍(-50°C至1200°C)
TC-1200 — High Temperature / High Purity — Temperature Range (-50°C to 1,200°C)
TC-1200利用一種非常獨特的連接方法，允許在極高的溫度下工作。這種方法不使用粘合劑。相反，硅是通過激光焊接來固定傳感器的。
這不僅允許高溫操作，而且還創(chuàng)造了一個最干凈的設(shè)計。通過消除粘合劑，不可能有脫氣或其它不希望的情況。
這種設(shè)計在了解和控制硅晶片表面的溫度至關(guān)重要的情況下得到應(yīng)用。大多數(shù)制造商將他們的傳感器嵌入晶片的核心。該產(chǎn)品將測量重點放在發(fā)生最重要過程的晶圓表面。使用該產(chǎn)品時，您可以通過最精確的傳感元件位置獲得更快、更準(zhǔn)確的響應(yīng)時間。
雖然這些產(chǎn)品通常用于整個半導(dǎo)體行業(yè)，但這項技術(shù)也可用于測量任何其他二維表面的溫度均勻性。
TC-1200晶圓產(chǎn)品采用熱電偶技術(shù)來產(chǎn)生最準(zhǔn)確和可靠的讀數(shù)。
Wafer Senor晶圓傳感器
儀表化晶片(熱電偶、鍵合晶片或RTD)在半導(dǎo)體加工設(shè)備中得到應(yīng)用，其中了解和控制晶片表面的溫度是至關(guān)重要的。
Thermo Electric的儀表化晶片正被用于許多行業(yè)，包括快速熱處理(RTP)、快速熱退火(RTA)、曝光后烘烤(PEB)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、離子注入、太陽能電池和許多其他熱驅(qū)動工藝。
Thermo Electric擁有設(shè)計和安裝熱電偶的專業(yè)知識，熱電偶安裝在各種襯底上，包括硅、AlTiC、玻璃、陶瓷和其他提供的裸襯底，涂覆的或圖案化的基底。其他定制基板，形狀和尺寸可用。
儀器化晶圓數(shù)據(jù)采集解決方案–TEDAQ
Thermo Electric的數(shù)據(jù)采集(TEDAQ)和溫度繪圖軟件工具允許精確捕捉和分析任何類型的儀器化晶片的溫度數(shù)據(jù)。
TEDAQ在儀表化晶圓組件上提供完全集成的多點溫度測量。
Thermo Electric的TEDAQ提供硬件和軟件嵌入式解決方案，可輕松應(yīng)用于任何尺寸的晶圓和多達64個熱電偶輸入。
TEDAQ軟件與最新的Windows操作系統(tǒng)兼容。
