Thermo Electric,TEDAQ,熱電偶,粘接晶圓,RTD
儀器化晶圓（熱電偶、粘接晶圓或RTD）廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工設(shè)備中，能夠準(zhǔn)確測量并控制晶圓表面的溫度，這一點(diǎn)至關(guān)重要。
Thermo Electric 的儀器化晶圓被廣泛用于多個行業(yè)，包括快速熱處理（RTP）、快速熱退火（RTA）、曝光后烘烤（PEB）、化學(xué)氣相沉積（CVD）、物理氣相沉積（PVD）、離子注入、太陽能電池等眾多熱驅(qū)動工藝中的應(yīng)用。
Thermo Electric 擁有豐富的經(jīng)驗，能夠設(shè)計并安裝熱電偶于多種基材上，包括硅、鋁鈦碳化物（AlTiC）、玻璃、陶瓷及其他提供的裸基材、涂層基材或圖案化基材。我們還可以根據(jù)需求提供其他定制基材、形狀和尺寸。
器化晶圓數(shù)據(jù)采集解決方案 – TEDAQ
Thermo Electric 的數(shù)據(jù)采集（TEDAQ）和溫度分布映射軟件工具能夠精準(zhǔn)捕獲和分析任何類型儀器化晶圓的溫度數(shù)據(jù)。
TEDAQ 可在儀器化晶圓組件上實現(xiàn)完全集成的多點(diǎn)溫度測量。
我們的 TEDAQ 提供了硬件和軟件嵌入式解決方案，可輕松適配任意尺寸的晶圓，并支持多達(dá) 64 個熱電偶輸入。
TEDAQ 軟件兼容最新的 Windows 操作系統(tǒng)。
晶圓規(guī)格：
晶圓配置：
表面貼裝熱電偶晶圓組件規(guī)格：
Surface-Mount-TC-Wafer-Flyer-COTEMP
粘接熱電偶晶圓組件規(guī)格：
電阻溫度探測器晶圓組件規(guī)格：
Thermo Electric TC WAFER 晶圓常用系列如下：
B300-8,B200-8,B300-12,B200-12,B150-8,B150-12,S150-8,S200-8,S300-8,S200-12,S200-12,S150-12,S300-12
Thermo Electric,TEDAQ,熱電偶,粘接晶圓,RTD
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