Thermo electric晶圓,晶圓傳感器,晶圓片,半導體硅晶圓,半導體晶圓,0~350℃晶圓
晶圓(熱電偶、鍵合晶圓或電阻式溫度檢測器)在半導體加工設備中得到應用,在半導體加工設備中,了解和控制晶圓表面的溫度至關重要。
Thermo electric的儀器化晶圓被應用于許多行業,包括快速熱處理(RTP)、快速熱退火(RTA)、暴露后烘烤(PEB)、化學氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、離子注入、太陽能電池和許多其他熱驅動工藝。
Thermo electric擁有設計和安裝熱電偶的專業知識,包括硅、AlTiC、玻璃、陶瓷和其他裸露的基板,有涂層或有圖案的基材。其他定制基板,形狀和尺寸可供選擇.
儀器化晶圓數據采集解決方案-TEDAQ
熱電公司的數據采集(TEDAQ)和溫度映射軟件工具允許精確捕捉和分析任何類型的儀表化晶圓的溫度數據。
TEDAQ在儀器化晶圓組件上提供完全集成的多點溫度測量。
我們的TEDAQ提供了一個硬件和軟件嵌入式解決方案,可輕松應用于任何尺寸的晶圓和多達64個熱電偶輸入。
TEDAQ軟件與最新的Windows操作系統兼容。
TC-350H-高性能-溫度范圍(-50°C至350°C)
TC-350H使用盡可能小的傳感元件來減少熱質量并增加每個傳感器的響應時間。用于制造傳感器的材料經過精心選擇,以達到最高的精確度和最大的傳感器對傳感器的均勻性。
TC-350D-重型-溫度范圍(-50°C至350°C)
TC-350D使用最堅固的部件來延長這些通常易碎的產品的壽命。用于制造傳感器的材料經過精心選擇,以達到最高的精確度和最大的傳感器對傳感器的均勻性。
這種設計應用于了解和控制硅片表面的溫度是至關重要的。大多數制造商將傳感器嵌入晶圓的核心。該產品的測量集中在晶圓表面,在那里最重要的過程發生。在使用本產品時,您可以期望得到更快和更準確的響應時間,這是由于傳感元件的最準確的放置。
雖然這些產品通常用于整個半導體行業,但這項技術也可用于測量任何其他二維表面的溫度均勻性。
TC-350晶片產品采用熱電偶技術,以產生最準確可靠的讀數。