Thermo electric晶圓,晶圓傳感器,晶圓片,半導(dǎo)體硅晶圓,半導(dǎo)體晶圓,0~350℃晶圓
晶圓(熱電偶、鍵合晶圓或電阻式溫度檢測器)在半導(dǎo)體加工設(shè)備中得到應(yīng)用,在半導(dǎo)體加工設(shè)備中,了解和控制晶圓表面的溫度至關(guān)重要。
Thermo electric的儀器化晶圓被應(yīng)用于許多行業(yè),包括快速熱處理(RTP)、快速熱退火(RTA)、暴露后烘烤(PEB)、化學(xué)氣相沉積(CVD)、物理氣相沉積(PVD)、離子注入、太陽能電池和許多其他熱驅(qū)動工藝。
Thermo electric擁有設(shè)計和安裝熱電偶的專業(yè)知識,包括硅、AlTiC、玻璃、陶瓷和其他裸露的基板,有涂層或有圖案的基材。其他定制基板,形狀和尺寸可供選擇.
儀器化晶圓數(shù)據(jù)采集解決方案-TEDAQ
熱電公司的數(shù)據(jù)采集(TEDAQ)和溫度映射軟件工具允許精確捕捉和分析任何類型的儀表化晶圓的溫度數(shù)據(jù)。
TEDAQ在儀器化晶圓組件上提供完全集成的多點溫度測量。
我們的TEDAQ提供了一個硬件和軟件嵌入式解決方案,可輕松應(yīng)用于任何尺寸的晶圓和多達(dá)64個熱電偶輸入。
TEDAQ軟件與最新的Windows操作系統(tǒng)兼容。
TC-350H-高性能-溫度范圍(-50°C至350°C)
TC-350H使用盡可能小的傳感元件來減少熱質(zhì)量并增加每個傳感器的響應(yīng)時間。用于制造傳感器的材料經(jīng)過精心選擇,以達(dá)到最高的精確度和最大的傳感器對傳感器的均勻性。
TC-350D-重型-溫度范圍(-50°C至350°C)
TC-350D使用最堅固的部件來延長這些通常易碎的產(chǎn)品的壽命。用于制造傳感器的材料經(jīng)過精心選擇,以達(dá)到最高的精確度和最大的傳感器對傳感器的均勻性。
這種設(shè)計應(yīng)用于了解和控制硅片表面的溫度是至關(guān)重要的。大多數(shù)制造商將傳感器嵌入晶圓的核心。該產(chǎn)品的測量集中在晶圓表面,在那里最重要的過程發(fā)生。在使用本產(chǎn)品時,您可以期望得到更快和更準(zhǔn)確的響應(yīng)時間,這是由于傳感元件的最準(zhǔn)確的放置。
雖然這些產(chǎn)品通常用于整個半導(dǎo)體行業(yè),但這項技術(shù)也可用于測量任何其他二維表面的溫度均勻性。
TC-350晶片產(chǎn)品采用熱電偶技術(shù),以產(chǎn)生最準(zhǔn)確可靠的讀數(shù)。