SRS,Stanford Research Systems,殘余氣體分析儀,RGA100,RGA200,RGA300,RGA120,RGA220,RGA320
殘余氣體分析儀
- 100、200和300 amu系統
- 優于1 amu分辨率
- 單次掃描動態范圍高達6個數量級
- 檢測極限為5 x 10^-14 Torr
- RGA Windows軟件
- RS-232和以太網接口
概述
SRS的100、200和300 amu殘余氣體分析儀提供卓越的性能和價值。這些RGA以約一半的價格提供詳細的真空系統氣體分析。每個RGA系統包括一個四極探頭、電子控制單元（ECU）和一個實時Windows軟件包，用于數據采集、分析和探頭控制。
堅固的探頭設計
電子倍增器
探頭由電離器、四極質譜過濾器和檢測器組成。簡潔的設計使零部件數量較少，從而減少氣體釋出并降低將雜質引入真空系統的幾率。探頭組件堅固，安裝在標準的2 ?英寸CF法蘭上，除了電離器需要在真空系統中留出2 ?英寸的間隙外，其余部分均覆蓋在不銹鋼管內，約為標準離子計的間隙。探頭采用自對準部件設計，清潔后可以輕松重新組裝。
緊湊的電子控制單元
緊湊的ECU包含了控制RGA頭所需的所有電子設備。它可以由外部+24 VDC（2.5 A）電源供電，也可以由一個可選的內置電源模塊供電，插入AC插座即可。LED指示燈提供關于電子倍增器、燈絲、電子系統和探頭狀態的即時反饋。ECU可以從探頭上輕松拆卸，以便進行高溫烘烤。
獨特的燈絲設計
采用長壽命雙釷銥（ThO2/Ir）燈絲用于電子發射。雙ThO2/Ir燈絲的壽命遠長于單燈絲，最大化燈絲更換之間的時間。與其他設計不同，SRS的燈絲可以由用戶在幾分鐘內更換。
電子倍增器
SRS RGA系統標配Faraday杯探測器，可以測量從10^-5到5 × 10^-11 Torr的分壓。為了提高靈敏度和掃描速度，還提供了可選的電子倍增器，可以檢測到5 × 10^-14 Torr的分壓。這種最先進的宏多通道連續電動二極管（CDEM）電子倍增器提供了更長的使用壽命和穩定性，并且可以由用戶更換——這是RGA領域的首次！
加熱夾套
O100HJRW加熱夾套配備了Watlow EHG SL10過程控制器，提供預設的210°C（±3°C）溫度。加熱夾套采用PTFE（特氟龍）材料制造，適用于潔凈室應用，因為其低氣體釋出和無顆粒操作。O100HJRW提供120 VAC和220 VAC版本，并附帶目的地國家的電源線。
有用的功能
所有RGA都具有內置的脫氣功能。通過電子碰撞解吸，離子源得到徹底清潔，大大減少了電離器對背景噪聲的貢獻。
固件驅動的燈絲保護功能持續監測（675 Hz）過壓情況。如果檢測到過壓，燈絲會立即關閉，從而延長其使用壽命。
獨特的溫度補償對數電流計在單次掃描中可以以優于2%的精度檢測從10^-7到10^-15安培的離子電流。這個巨大的動態范圍意味著可以同時測量小和大氣體濃度。
完整的可編程性
通過RS-232接口與計算機通信。模擬和直方圖（條形圖）掃描、泄漏檢測和探頭參數均通過高級命令集進行控制和監控。這使得與現有程序的集成變得簡單。
RGA Windows軟件
RGA系統配有在Windows操作系統上運行的實時軟件包。直觀的圖形用戶界面允許快速、輕松地進行測量。數據可以實時捕獲和顯示，也可以按照指定的時間間隔進行長期數據記錄。多個光譜數據和單獨的測量可以在一個序列中一起收集。多功能的停靠窗口和小部件為用戶提供了多種顯示方式。數據可以手動或自動縮放，以線性或對數格式顯示在圖表上。單位可選擇Torr、Bar、Pascal和Amp。功能包括常見氣體標簽、可編程音頻和視覺警報、可擴展的庫、成分分析以及全面的在線幫助。
軟件還允許完全控制RGA，輕松調整質量范圍、靈敏度校準、離子源設置和電子倍增器增益調整。為了進一步分析，數據文件可以保存為CSV文本格式，便于導入到電子表格中。圖形圖像可以保存為常見格式（PNG、BMP、TIFF、JPG、SVG、PDF）或復制到剪貼板中，直接導入到其他程序中。
模擬模式
一個可選的獨立監視器（PPM100 RGA監視器與控制器）可以在沒有主計算機的情況下控制RGA。
多頭操作
軟件支持多個頭的操作，當需要多個RGA時，可以通過多個軟件實例獨立控制每個RGA。多個RGA可以同時運行，數量僅受系統資源的限制。
性能和價值
SRS系列RGA非常適合氣體分析、泄漏檢測和真空處理等應用。我們提供100、200和300 amu系統，配備支持Windows的軟件以及電子倍增器和內置電源模塊等選項。
RGA100系列規格
操作
- 質量范圍
- RGA100：1到100 amu
- RGA200：1到200 amu
- RGA300：1到300 amu
- 質量過濾器類型：四極桿
- 檢測器類型：標準Faraday杯 — 電子倍增器 — 可選
- 分辨率：優于0.5 amu @ 10%峰高（符合AVS標準2.3）。在整個質量范圍內調整為恒定峰寬。
- 靈敏度（A/Torr）：2 × 10^-4（FC），<200（EM）。在高電壓范圍內用戶可調。測量使用N2 @ 28 amu，1 amu全峰寬，10%高度，70 eV電子能量，12 eV離子能量和1 mA電子發射電流。
- 最小可檢測分壓：5 × 10^-11 Torr（FC）。5 × 10^-14 Torr（EM）。測量使用N2 @ 28 amu，1 amu全峰寬，10%高度，70 eV電子能量，12 eV離子能量和1 mA電子發射電流。
- 操作壓力：10^-4 Torr到UHV（FC）; 10^-6 Torr到UHV（EM）
- 最大操作溫度：70°C
- 烘烤溫度：300°C（不帶ECU）
離子源
- 設計：開放離子源，圓柱對稱，電子碰撞電離。
- 材料：SS304結構
- 燈絲：釷銥（雙）帶固件保護。內置1到10 W脫氣升溫。現場可更換。
- 電子能量：25到105 V，可編程
- 離子能量：8或12 V，可編程
- 聚焦電壓：0到150 V，可編程
- 電子發射電流：0到3.5 mA，可編程
一般
- 探頭尺寸：從法蘭面到離子源頂部8.75英寸
- 探頭插入長度：2.0英寸
- 探頭安裝法蘭：2.75英寸CF
- 最小管內徑：1.375英寸
- ECU尺寸：9.1″ × 4.1″ × 3.1″（WHL）
- 可以輕松從探頭上拆卸進行烘烤。
- LED指示燈：電源開/關，燈絲開/關，脫氣開/關，電子倍增器開/關，RS-232忙，錯誤，過壓，燒壞燈絲。
- 預熱時間：質量穩定性±0.1 amu，30分鐘后
- 計算機接口：RS-232C，28,800 波特率，高級命令集
軟件：基于Windows的應用程序
電源要求：24 VDC @ 2.5 安培。可選內置VAC適配器。
重量：6磅
保修：一年，涵蓋材料和工藝缺陷的零件和人工
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