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通用氣體分析儀

UGA 系列 — 最高可達 300 amu 的氣體分析儀，適用于大氣壓力到超高真空 (UHV)

• 100, 200 和 300 amu 系統
• 快速響應時間
• Windows 軟件
• 獨立泄漏檢測
• 電子倍增器
• 可測量高達 100% H?（UGA-Hydrogen 選項）

概述

UGA 和 ULT 系列通用氣體分析儀是先進的臺式質譜儀，工作范圍從大氣壓力到超高真空 (UHV)。它們非常適合在線監測和分析氣體混合物。無論是測量微量污染物、溶劑、烴類、制冷劑還是腐蝕性氣體，您的通用氣體分析儀都能勝任。

• UGA 系列—理想用于腐蝕性氣體
• UGA-Hydrogen 系列（UGA 配置選項 3）—理想用于高濃度 H?
• ULT 系列—低成本解決方案（起價 $28,000）

UGA 和 ULT 系列通用氣體分析儀是先進的臺式質譜儀，適用于從大氣壓力到超高真空 (UHV) 的工作范圍。它們非常適合在線監測和分析氣體混合物。無論是測量微量污染物、溶劑、烴類、制冷劑還是腐蝕性氣體，您的通用氣體分析儀都能滿足需求。

UGA 的應用包括半導體廢氣監測、手套箱分析、燃料電池研究、氟利昂檢測、污染監測、發酵研究以及一般的研發真空分析。

這些分析儀操作和維護簡單。機箱設計允許儀器垂直或水平操作，支持前面板和計算機操作。ULT 系列是簡化設計，適用于要求較低的應用。

操作原理

UGA 系統使用兩級壓力降低入口以采樣大氣壓力下的氣體。壓力降低到約 10?? Torr 后，氣體流被送到質譜儀（殘余氣體分析儀—RGA），測量每種感興趣質量的濃度。

UGA Windows 軟件提供了圖形用戶界面，用于復雜的圖形繪制和數據分析。軟件還允許遠程控制系統的閥門、加熱器和泵。

對于 10?1 到 10?? Torr 范圍的氣體采樣，使用真空入口組件。只需將 2 ?” CF 轉接到 ?” 管適配器連接到 CF 端口，并調整管的長度以適應入口壓力。

對于超高真空 (UHV) 應用（<10?? Torr），可以直接接入 RGA。真空入口組件的任何 2 ?” CF 端口都可以用來連接到您的真空室。

多毛細管入口（僅 UG 系列）

可選的多端口采樣入口包含 16 個安裝在歧管上的閥門，可與各種毛細管一起使用。

加熱室（僅 UG 系列）

UGA 系統配備了用于真空室（包括 RGA）、渦輪泵連接器和真空入口組件的獨立加熱器。在烘烤過程中，系統可加熱至 120 °C。

雙隔膜泵（僅 UG 系列）

使用單獨的隔膜泵處理旁路流量和渦輪泵的背壓。這種結構允許分析腐蝕性氣體（如氯、氟等）而不會損壞 RGA 和渦輪泵，并幾乎消除了回流問題。測量低質量氣體（如氫、氦等）的高濃度也不再是問題。

渦輪泵排氣（UGA 和 ULT 系列）

可選的閥門和渦輪泵排氣入口適用于希望用干氮（或其他惰性氣體）排氣的用戶。這可以保持泵不受空氣中水分和其他污染物的影響。

軟件系統控制

UGA 系統可以通過前面板或計算機進行控制。提供手動或自動控制所有系統組件的選項。

使用 UGA 軟件進行數據測量和顯示。直觀的用戶界面使測量變得快速而簡單。數據可以實時捕獲和顯示，或根據設定時間進行采集。

功能包括模擬和直方圖掃描模式、壓力與時間圖、泄漏檢測、氣體庫和在線幫助。

RGA 參數也可以通過高級 ASCII 命令集進行控制和監測。標準的 RS-232 和以太網接口用于與 PC 的數據連接。

模擬模式

UGA 分析儀提供了市場上最具性價比的系統。它們提供更多性能、更好的功能，并且價格遠低于競爭對手

UGA 系列規格

入口（UGA 系列）*

• 類型：不銹鋼和 PEEK 毛細管，兩個額外的 2-3/4″ CF 端口
• 流量：1 至 10 毫升每分鐘（大氣壓力下）
• 壓力：約 10?? mbar 至幾 bar（取決于連接端口和毛細管）

質譜儀

• 類型：四極桿（RGA）
• 探測器：法拉第杯和電子倍增器
• 范圍：100、200 或 300 原子質量單位（amu）
• 分辨率：在峰值高度的 10% 時優于 0.5 amu
• 檢測限：低于 1 ppm
• 操作壓力：5 × 10?? mbar

連接（UGA 系列）*

• 樣品入口：
  • 1 mbar 至 1 bar：1/8″ Ultra-Torr? 配件
  • 10?1 至 10?? mbar：2-3/4″ CF 法蘭端口
  • <10?? mbar：2-3/4″ CF 法蘭端口
  • 計算機接口：RS-232, 以太網

UGA 軟件

• 軟件：Windows 應用程序，控制 UGA 系統，包括 RGA。

系統

• 高真空泵：混合渦輪分子泵
• 隔膜泵：先進低壓泵

材料

• 結構：SS304 和 SS316
• 絕緣材料：鋁土礦，陶瓷
• 密封材料：Viton?、buna-N 和氰化丁二烯橡膠，銅墊片
• 其他：鋁，Tygon?

一般

• 啟動時間：從完全停止到啟動需要 8 分鐘
• 最大環境溫度：35 °C
• 烘烤溫度：120 °C（受控加熱器，僅 UG 系列）
• 電源要求：720 W，85 至 264 VAC 或 120 至 370 VDC，47 至 63 Hz
• 尺寸：12″ × 11″ × 27″（寬 × 高 × 長）
• 重量：UGA 85 磅，ULT 75 磅
• 保修：材料或工藝缺陷一年保修。泵密封和隔膜保修 90 天

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