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高壓氣體分析儀

QMS 系列 — 高達 300 amu 的氣體分析儀，100、200 或 300 amu 系統

• 壓力范圍：從 10 mbar 到 1 bar
• 分辨率：優于 1 amu
• 響應時間：小于 0.5 秒
• 緊湊、可運輸設計
• 6 個動態范圍的量程
• RGA Windows 軟件
• RS-232 接口

概述

QMS 系列氣體分析儀提供了高效、成本效益高的解決方案，適用于各種應用。這些質譜儀簡化了在線過程監控、氣體種類分析、泄漏檢測和故障排除的任務。QMS 系統可以持續采樣氣體，流速可達幾毫升每分鐘。入口可以配置為在 1 bar 到 10 mbar 的壓力下進行采樣。數據是連續獲取的，而不是像氣相色譜儀那樣采用批量采樣。

QMS 系列大氣壓氣體分析儀

QMS 系列氣體分析儀提供了高效且具有成本效益的解決方案，適用于廣泛的應用。這些質譜儀簡化了在線過程監控、氣體種類分析、泄漏檢測和故障排除的任務。

在線監控

QMS 系統能夠以每分鐘幾毫升的流速連續采樣氣體。入口可以配置為在 1 bar 到 10 mbar 的壓力下進行采樣。數據是連續獲取的，與采用批量采樣的氣相色譜儀不同。QMS 的響應時間非常快，低于 0.5 秒。完整的光譜可以在幾秒鐘內記錄，單個質量可以以每秒最多 25 點的速率進行測量。

緊湊、用戶友好的設計

一種先進的四極桿質譜儀設計，結合了最先進的泵送技術，使整個系統集成在一個小巧、便于運輸的包中。采樣入口閥和泵可以從前面板控制。操作簡單，不需要詳細了解四極桿或壓力降低入口。由于泵內沒有油或其他液體，因此重力對其沒有影響，這使得設備可以直立或側放工作。毛細管用作采樣探針，提供多種材料和尺寸以滿足不同應用需求。

工作原理

QMS 使用兩級壓力降低入口來在高壓下采樣氣體。這使得可以使用在高真空下運行的殘余氣體分析儀（RGA）作為探測器。不同的毛細管允許系統在更高或更低的壓力下進行采樣。通過毛細管抽取大量氣體，將壓力降低三個數量級。一個混合渦輪分子泵/拖曳泵通過一個孔抽取少量氣體，將壓力降低到約 10?? Torr，同時大部分氣流被直接旁通到隔膜泵。電磁閥控制氣體流動。整個系統由微處理器控制，以確保泵和閥門的正確操作。軟件管理質譜儀，并以六種不同模式獲取數據。一個可選的高真空 2.75″ CF 端口提供了直接訪問 RGA 的途徑。

旁通流配置

旁通流和樣品流在隔膜泵處重新合并，這使得只需使用一個備份泵。這有助于系統的小型化。旁通流配置對于 QMS 的快速響應時間也至關重要。單級壓力降低與泄漏閥會導致非常小的流量和不合理的采樣時間。另一方面，旁通流配置使從毛細管尖端到 RGA 室的響應時間低于 0.5 秒。

Windows 軟件

QMS 系統配備了一個運行在 PC 上的 Windows 軟件包。直觀的圖形用戶界面使得測量變得快速且容易。數據可以實時捕獲和顯示，或按預定時間間隔進行采集。功能包括模擬和直方圖掃描模式、壓力與時間圖、泄漏檢測、警報模式、氣體庫、音頻和視覺報警以及全面的在線幫助。探針參數也可以通過高級 ASCII 命令集進行控制和監控，從而便于與用戶控制程序集成。標準的 RS-232 接口用于與主計算機的數據鏈接。還提供 LabVIEW 驅動程序

QMS 系列規格

入口

• 類型：可提供不銹鋼和 PEEK 材質的毛細管
• 流速：在大氣壓下為每分鐘 1 到 10 毫升
• 壓力：10 mbar 至大于 1 bar（取決于毛細管）

質譜儀

• 類型：四極桿
• 探測器：法拉第杯和電子倍增器
• 范圍：100、200 或 300 原子質量單位（amu）
• 分辨率：在峰值高度的 10% 處優于 0.5 amu
• 檢測限：低于 1 ppm
• 操作壓力：5 × 10?? mbar

連接

• 入口：1/4″ Ultra-Torr? 配件
• 計算機接口：RS-232C，28800 波特率，DB9 連接器
• 軟件：RGA Windows 應用程序

系統

• 高真空泵：混合渦輪分子泵
• 隔膜泵：先進的低壓泵

材料

• 結構：SS304 和 SS316
• 絕緣體：鋁土礦、陶瓷
• 密封件：Viton?、buna-N 和丁腈橡膠
• 其他：鋁、Tygon?

一般

• 啟動時間：從完全停止到啟動需 5 分鐘
• 最大環境溫度：35 °C
• 電力要求：110 VAC @ 60 Hz 或 220 VAC @ 50 Hz（不可現場選擇）
• 尺寸：8.0″ × 17.0″ × 24.0″（寬 × 高 × 深）
• 重量：75 磅
• 保修：材料或工藝缺陷的零件和人工保修一年。泵密封件和隔膜保修 90 天

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