SRS,Stanford Research Systems,殘余氣體分析儀,RGA100,RGA200,RGA300,RGA120,RGA220,RGA320
殘余氣體分析儀
- 100、200和300 amu系統(tǒng)
- 優(yōu)于1 amu分辨率
- 單次掃描動(dòng)態(tài)范圍高達(dá)6個(gè)數(shù)量級
- 檢測極限為5 x 10^-14 Torr
- RGA Windows軟件
- RS-232和以太網(wǎng)接口
概述
SRS的100、200和300 amu殘余氣體分析儀提供卓越的性能和價(jià)值。這些RGA以約一半的價(jià)格提供詳細(xì)的真空系統(tǒng)氣體分析。每個(gè)RGA系統(tǒng)包括一個(gè)四極探頭、電子控制單元（ECU）和一個(gè)實(shí)時(shí)Windows軟件包，用于數(shù)據(jù)采集、分析和探頭控制。
堅(jiān)固的探頭設(shè)計(jì)
電子倍增器
探頭由電離器、四極質(zhì)譜過濾器和檢測器組成。簡潔的設(shè)計(jì)使零部件數(shù)量較少，從而減少氣體釋出并降低將雜質(zhì)引入真空系統(tǒng)的幾率。探頭組件堅(jiān)固，安裝在標(biāo)準(zhǔn)的2 ?英寸CF法蘭上，除了電離器需要在真空系統(tǒng)中留出2 ?英寸的間隙外，其余部分均覆蓋在不銹鋼管內(nèi)，約為標(biāo)準(zhǔn)離子計(jì)的間隙。探頭采用自對準(zhǔn)部件設(shè)計(jì)，清潔后可以輕松重新組裝。
緊湊的電子控制單元
緊湊的ECU包含了控制RGA頭所需的所有電子設(shè)備。它可以由外部+24 VDC（2.5 A）電源供電，也可以由一個(gè)可選的內(nèi)置電源模塊供電，插入AC插座即可。LED指示燈提供關(guān)于電子倍增器、燈絲、電子系統(tǒng)和探頭狀態(tài)的即時(shí)反饋。ECU可以從探頭上輕松拆卸，以便進(jìn)行高溫烘烤。
獨(dú)特的燈絲設(shè)計(jì)
采用長壽命雙釷銥（ThO2/Ir）燈絲用于電子發(fā)射。雙ThO2/Ir燈絲的壽命遠(yuǎn)長于單燈絲，最大化燈絲更換之間的時(shí)間。與其他設(shè)計(jì)不同，SRS的燈絲可以由用戶在幾分鐘內(nèi)更換。
電子倍增器
SRS RGA系統(tǒng)標(biāo)配Faraday杯探測器，可以測量從10^-5到5 × 10^-11 Torr的分壓。為了提高靈敏度和掃描速度，還提供了可選的電子倍增器，可以檢測到5 × 10^-14 Torr的分壓。這種最先進(jìn)的宏多通道連續(xù)電動(dòng)二極管（CDEM）電子倍增器提供了更長的使用壽命和穩(wěn)定性，并且可以由用戶更換——這是RGA領(lǐng)域的首次！
加熱夾套
O100HJRW加熱夾套配備了Watlow EHG SL10過程控制器，提供預(yù)設(shè)的210°C（±3°C）溫度。加熱夾套采用PTFE（特氟龍）材料制造，適用于潔凈室應(yīng)用，因?yàn)槠涞蜌怏w釋出和無顆粒操作。O100HJRW提供120 VAC和220 VAC版本，并附帶目的地國家的電源線。
有用的功能
所有RGA都具有內(nèi)置的脫氣功能。通過電子碰撞解吸，離子源得到徹底清潔，大大減少了電離器對背景噪聲的貢獻(xiàn)。
固件驅(qū)動(dòng)的燈絲保護(hù)功能持續(xù)監(jiān)測（675 Hz）過壓情況。如果檢測到過壓，燈絲會立即關(guān)閉，從而延長其使用壽命。
獨(dú)特的溫度補(bǔ)償對數(shù)電流計(jì)在單次掃描中可以以優(yōu)于2%的精度檢測從10^-7到10^-15安培的離子電流。這個(gè)巨大的動(dòng)態(tài)范圍意味著可以同時(shí)測量小和大氣體濃度。
完整的可編程性
通過RS-232接口與計(jì)算機(jī)通信。模擬和直方圖（條形圖）掃描、泄漏檢測和探頭參數(shù)均通過高級命令集進(jìn)行控制和監(jiān)控。這使得與現(xiàn)有程序的集成變得簡單。
RGA Windows軟件
RGA系統(tǒng)配有在Windows操作系統(tǒng)上運(yùn)行的實(shí)時(shí)軟件包。直觀的圖形用戶界面允許快速、輕松地進(jìn)行測量。數(shù)據(jù)可以實(shí)時(shí)捕獲和顯示，也可以按照指定的時(shí)間間隔進(jìn)行長期數(shù)據(jù)記錄。多個(gè)光譜數(shù)據(jù)和單獨(dú)的測量可以在一個(gè)序列中一起收集。多功能的?？看翱诤托〔考橛脩籼峁┝硕喾N顯示方式。數(shù)據(jù)可以手動(dòng)或自動(dòng)縮放，以線性或?qū)?shù)格式顯示在圖表上。單位可選擇Torr、Bar、Pascal和Amp。功能包括常見氣體標(biāo)簽、可編程音頻和視覺警報(bào)、可擴(kuò)展的庫、成分分析以及全面的在線幫助。
軟件還允許完全控制RGA，輕松調(diào)整質(zhì)量范圍、靈敏度校準(zhǔn)、離子源設(shè)置和電子倍增器增益調(diào)整。為了進(jìn)一步分析，數(shù)據(jù)文件可以保存為CSV文本格式，便于導(dǎo)入到電子表格中。圖形圖像可以保存為常見格式（PNG、BMP、TIFF、JPG、SVG、PDF）或復(fù)制到剪貼板中，直接導(dǎo)入到其他程序中。
模擬模式
一個(gè)可選的獨(dú)立監(jiān)視器（PPM100 RGA監(jiān)視器與控制器）可以在沒有主計(jì)算機(jī)的情況下控制RGA。
多頭操作
軟件支持多個(gè)頭的操作，當(dāng)需要多個(gè)RGA時(shí)，可以通過多個(gè)軟件實(shí)例獨(dú)立控制每個(gè)RGA。多個(gè)RGA可以同時(shí)運(yùn)行，數(shù)量僅受系統(tǒng)資源的限制。
性能和價(jià)值
SRS系列RGA非常適合氣體分析、泄漏檢測和真空處理等應(yīng)用。我們提供100、200和300 amu系統(tǒng)，配備支持Windows的軟件以及電子倍增器和內(nèi)置電源模塊等選項(xiàng)。
RGA100系列規(guī)格
操作
- 質(zhì)量范圍
- RGA100：1到100 amu
- RGA200：1到200 amu
- RGA300：1到300 amu
- 質(zhì)量過濾器類型：四極桿
- 檢測器類型：標(biāo)準(zhǔn)Faraday杯 — 電子倍增器 — 可選
- 分辨率：優(yōu)于0.5 amu @ 10%峰高（符合AVS標(biāo)準(zhǔn)2.3）。在整個(gè)質(zhì)量范圍內(nèi)調(diào)整為恒定峰寬。
- 靈敏度（A/Torr）：2 × 10^-4（FC），<200（EM）。在高電壓范圍內(nèi)用戶可調(diào)。測量使用N2 @ 28 amu，1 amu全峰寬，10%高度，70 eV電子能量，12 eV離子能量和1 mA電子發(fā)射電流。
- 最小可檢測分壓：5 × 10^-11 Torr（FC）。5 × 10^-14 Torr（EM）。測量使用N2 @ 28 amu，1 amu全峰寬，10%高度，70 eV電子能量，12 eV離子能量和1 mA電子發(fā)射電流。
- 操作壓力：10^-4 Torr到UHV（FC）; 10^-6 Torr到UHV（EM）
- 最大操作溫度：70°C
- 烘烤溫度：300°C（不帶ECU）
離子源
- 設(shè)計(jì)：開放離子源，圓柱對稱，電子碰撞電離。
- 材料：SS304結(jié)構(gòu)
- 燈絲：釷銥（雙）帶固件保護(hù)。內(nèi)置1到10 W脫氣升溫?，F(xiàn)場可更換。
- 電子能量：25到105 V，可編程
- 離子能量：8或12 V，可編程
- 聚焦電壓：0到150 V，可編程
- 電子發(fā)射電流：0到3.5 mA，可編程
一般
- 探頭尺寸：從法蘭面到離子源頂部8.75英寸
- 探頭插入長度：2.0英寸
- 探頭安裝法蘭：2.75英寸CF
- 最小管內(nèi)徑：1.375英寸
- ECU尺寸：9.1″ × 4.1″ × 3.1″（WHL）
- 可以輕松從探頭上拆卸進(jìn)行烘烤。
- LED指示燈：電源開/關(guān)，燈絲開/關(guān)，脫氣開/關(guān)，電子倍增器開/關(guān)，RS-232忙，錯(cuò)誤，過壓，燒壞燈絲。
- 預(yù)熱時(shí)間：質(zhì)量穩(wěn)定性±0.1 amu，30分鐘后
- 計(jì)算機(jī)接口：RS-232C，28,800 波特率，高級命令集
軟件：基于Windows的應(yīng)用程序
電源要求：24 VDC @ 2.5 安培。可選內(nèi)置VAC適配器。
重量：6磅
保修：一年，涵蓋材料和工藝缺陷的零件和人工
http://ydzhly.com/think-srs/RGA100,RGA200,RGA300,RGA120,RGA220,RGA320/
