RGA100，RGA200，RGA300?殘余氣體分析儀

Residual Gas Analyzer

RGA100 series — 100, 200, and 300?amu analyzers

RGA100系列殘余氣體分析儀主要特征：

• 100、200和300 amu系統
• 分辨率優于1 amu
• 6個數量級的動態
  單次掃描的范圍
• 5 x 10^-14托檢測極限
• RGA視窗軟件
• RS-232和以太網接口

RGA100系列殘余氣體分析儀

SRS的100、200和300 amu殘余氣體分析儀提供卓越的性能和價值。這些RGA提供詳細的真空系統氣體分析，價格約為競爭機型的一半。每個RGA系統都配有一個四極桿探頭、電子控制單元(ECU)和一個用于數據采集和分析以及探頭控制的實時Windows軟件包。

堅固的探頭設計

探針由離子發生器、四極濾質器和檢測器組成。簡單的設計有少量的零件，最大限度地減少排氣，并減少將雜質引入真空系統的機會。探頭組件堅固耐用，安裝在標準2英寸CF法蘭。除了離子發生器之外，它被不銹鋼管覆蓋，離子發生器在真空系統中只需要2英寸的間隙——大約是標準離子規的間隙。探頭采用自動校準部件設計，因此在清潔后可以很容易地重新組裝。

緊湊型電子控制單元

密集包裝的ECU包含控制RGA頭所需的所有電子設備。它由外部+24 VDC (2.5 A)電源或插入交流電源插座的可選內置電源模塊供電。LED指示器提供關于電子倍增器、燈絲、電子系統和探針狀態的即時反饋。對于高溫烘烤，ECU可以很容易地從探頭上拆下。

獨特的燈絲設計

一種長壽命雙釷銥合金(ThO2/Ir)燈絲用于電子發射。雙重ThO2/Ir燈絲比單根燈絲耐用得多，最大限度地延長了更換燈絲的時間。與其他設計不同，用戶可以在幾分鐘內更換SRS燈絲。

電子倍增器

法拉第杯檢測器是SRS RGA系統的標準配置，可以測量以下部分壓力10-5到5 × 10-11托。為了提高靈敏度和更快的掃描速度，提供了一個可選的電子倍增器，可檢測低至5 × 10-14托. 這種最先進的宏多通道連續倍增電極電子倍增器(CDEM)提供了更長的壽命和穩定性，也可以由用戶更換-這是RGAs的第一次！

加熱器護套

O100HJRW加熱器護套配有沃特世EHG SL10過程控制器，可提供210℃(±3 ℃)的預編程溫度。加熱器護套采用聚四氟乙烯(Teflon)結構制成，由于其低排氣和無顆粒運行，適用于潔凈室應用。O100HJRW提供120 VAC和220 VAC版本，并附帶目的地國家的電源線。

有用的功能

所有rga都有內置脫氣功能。使用電子碰撞解吸，離子源被徹底清潔，大大降低了離子發生器對背景噪音的影響。

固件驅動的燈絲保護功能持續監控(675 Hz)過壓。如果檢測到過壓，燈絲會立即關閉，從而保護其壽命。

獨特的溫度補償對數靜電計檢測來自10-7到10-15安培數精度優于2 %的單次掃描。這種巨大的動態范圍意味著您可以同時測量小氣體濃度和大氣體濃度。

完全可編程

與計算機的通信是通過RS-232界面。模擬和直方圖(條)掃描、泄漏檢測和探頭參數都通過高級命令集進行控制和監控。這允許容易地集成到現有程序中。

RGA視窗軟件

RGA系統由運行在Windows操作系統計算機上的實時軟件包支持。直觀的圖形用戶界面允許快速、輕松地進行測量。實時捕獲和顯示數據，或計劃以給定的時間間隔采集數據，用于長期數據記錄。可以在一個序列中收集多個光譜數據和單個測量值。多功能停靠窗口和窗口部件為用戶提供了多種組織顯示的方式。數據可以手動或自動縮放，以線性或對數格式繪制在圖上。單位可在托、巴、帕斯卡和安培之間選擇。功能包括普通氣體標簽、可編程音頻和視頻警報、可擴展庫、成分分析和全面的在線幫助。

該軟件還允許通過簡單的質量標度調諧、靈敏度校準、離子發生器設置和電子倍增器增益調整來完成RGA控制。為了進一步分析，數據文件可以保存為CSV文本格式，以便于轉換為電子表格。圖形圖像可以保存為常見格式(PNG，BMP，TIFF，JPG，SVG，PDF)或復制到剪貼板直接導入到其他程序。
可選的獨立顯示器(PPM100 RGA監控器和控制器)可用于控制RGA，無需主機。

多頭操作

當需要多個RGA時，軟件支持多頭操作。利用獨立控制RGA軟件實例，多個RGA可以被控制并與多個軟件實例同時運行。rga的數量僅受系統資源的限制。

性能和價值

RGAs的SRS系列是氣體分析、泄漏檢測和真空處理應用的理想選擇。我們提供100、200和300 amu系統，支持Windows軟件和選項，包括電子倍增器和用于交流線路操作的內置電源模塊。