VacTechniche濺射鍍膜機DST1-170、高真空磁控臺式濺射鍍膜機、光學和薄膜涂層金屬濺射、磁控陰極、渦輪泵濺射鍍膜機
渦輪泵式濺射鍍膜機DST1-170
SEM涂層機|濺射涂層機
SEM/TEM樣品制備真空技術(shù)
展示DST1-170，一款尖端的高真空磁控臺式濺射鍍膜機。這種緊湊的涂層系統(tǒng)因其多功能性而脫穎而出，能夠有效地涂覆氧化性和非氧化性金屬。DST1-170非常適合短期沉積需求，擅長快速生產(chǎn)具有細粒紋理的均勻薄膜。使用這種創(chuàng)新的解決方案，體驗快速而精確的涂層循環(huán)。
vac-Coat DST1-170具有最小的臺式占地面積之一，可為高分辨率SEM和TEM樣品制備提供直流濺射。
臺式濺射鍍膜機|DSR1
臺式磁控濺射鍍膜機（DSR1）是一種高效工具，以在全自動系統(tǒng)中提供一致且高度可重復的結(jié)果而聞名。其符合人體工程學的設計和較小的占地面積使DSR1 SEM涂層系統(tǒng)易于使用。
由于自動過程控制，提供具有可重復結(jié)果的高分辨率清晰度涂層，便于設置和操作。
DST1-170也可用于光學和薄膜涂層的一般金屬濺射。樣品旋轉(zhuǎn)是標準的，大多數(shù)應用都有傾斜和高度調(diào)節(jié)。Vac Techniche還提供一系列更大的渦輪泵濺射鍍膜機，可選擇1至3、2英寸磁控管、RF和DC、樣品加熱，該系列為DST1-300系列。
DST1-170也可用于光學和薄膜涂層的一般金屬濺射。
DST1-170可以配備水冷陰極，使其適用于長時間沉積。
此模型中基板的最大尺寸為4英寸。
DST1可以配備水冷陰極，使其適用于長時間沉積。
此模型中基板的最大尺寸為4英寸。
DST1-170
脈沖碳纖維升級選項
真空室為圓柱形Pyrex。DST1-170配備了一個內(nèi)部安裝的90升/秒渦輪分子泵，由一個6立方米/小時的兩級旋片泵提供支持。它引入了普通擴散泵通常存在的無油污染的清潔真空。
DST1-170蒸發(fā)
脈沖碳纖維升級選項
緊湊型臺式真空濺射和碳涂層機專為小型腔室設計，具有執(zhí)行脈沖碳纖維蒸發(fā)的強大能力。在這個過程中使用短脈沖可以在沉積過程中實現(xiàn)更精細的控制，并且作為一個顯著的好處，可以大大減少通常與傳統(tǒng)碳沉積方法相關(guān)的碎片的產(chǎn)生。這一進步不僅提高了涂層精度，而且大大減輕了碎片帶來的挑戰(zhàn)，使其成為各個領(lǐng)域研究人員和專業(yè)人員的寶貴工具。
DST1，渦輪泵臺式濺射鍍膜機：DST1型磁控臺式濺射鍍膜儀是一種緊湊的涂層系統(tǒng)，能夠涂覆半導體、電介質(zhì)和金屬（氧化和非氧化）。在快速循環(huán)時間內(nèi)形成具有細晶粒尺寸的均勻薄膜。DST1配備了一個磁控管陰極，陰極的直徑可以根據(jù)需要為2-4英寸。
DST1-2:DST1-2配置為濺射涂布機和纖維碳涂布機（可選），在一個適用于掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備的儀器中具有可互換的頭。這種高真空鍍膜機提供高質(zhì)量的均勻薄膜，具有細小的晶粒尺寸，適用于需要高分辨率和高質(zhì)量表征的樣品，如FE-SEM、EDS/WDS、TEM和EBSD。DST1-2具有2英寸磁控陰極、帶匹配盒的300 W射頻電源（可選）、80 W開關(guān)直流電源和用于碳蒸發(fā)的大電流電源（可選的），可用于研究和不同的薄膜應用?
DST1-4：帶有4英寸磁控陰極的大型腔室DST1-4，水冷，非常適合涂覆直徑高達15厘米的大型試樣，或直徑相似的多個較小試樣。無限的濺射時間使其適用于厚層的沉積。該系統(tǒng)配備800 W直流電源、300 W射頻電源（可選）和匹配盒。該系統(tǒng)可以在不同表面沉積各種材料，用于薄膜應用，如微納電子和SEM樣品制備
規(guī)格
極限真空度：小于2×10-6torr。
控制濺射速率以實現(xiàn)更細的晶粒結(jié)構(gòu)。
自動控制濺射功率，不受壓力影響。
用于精細控制真空壓力的精密質(zhì)量流量計（MFC）
能夠記錄和繪制涂層參數(shù)圖。
通過USB端口將曲線和沉積過程數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C。
真空室為圓柱形Pyrex，外徑300毫米，高200毫米（DST1-4）/170毫米外徑x 140毫米高（DST1-2）。DST1配備了一個內(nèi)部安裝的渦輪分子泵，由一個隔膜泵支撐，該隔膜泵引入了清潔的真空，沒有普通擴散泵中通常存在的油污染。
DST1-170渦輪泵濺射鍍膜機是一種先進的儀器，用于各種科學和工業(yè)應用中的薄膜沉積。它利用渦輪分子泵技術(shù)實現(xiàn)高真空水平，使材料能夠精確均勻地濺射到基板上。
DST1-170渦輪泵濺射鍍膜機適用于各種基材，包括玻璃、硅、陶瓷、金屬和聚合物。其多功能設計允許在導電和非導電基底上沉積薄膜，使其適用于各種研究和工業(yè)應用。
DST1-170渦輪泵濺射鍍膜機支持各種材料的濺射，包括金屬(如金、銀、鉑和鋁)、氧化物、氮化物和半導體。用戶可以根據(jù)具體的應用要求和實驗參數(shù)選擇所需的目標材料。
