DTT渦輪三重熱蒸發
SEM/TEM涂層系統
Vac Techniche真空鍍膜系統
Vac Techniche三熱源臺式涂布機為各種形式的源材料提供了一個非常通用的熱蒸發系統，包括線材、繩索、顆粒和粉末，與船/籃和線圈源支架兼容。

三個獨立的耐熱熱蒸發源。
設計的蒸發源支架不會造成源材料相互污染。
源支架的長度可以在50mm~90mm的范圍內調整。
共蒸發升級可用
蒸發源：

• 船
• 籃子
• 線圈/電線

真空系統由以下部分組成：
耐熱圓柱形Pyrex，外徑300毫米，高200毫米。
90L/s渦輪分子泵直接安裝在真空包封基板上，并由6m3/h的兩級旋轉泵支撐，該泵引入清潔的真空，沒有普通擴散泵通常存在的油污染。
干式背壓泵選項也可用
DTT三重蒸發源的選擇非常適合多層或合金的沉積。
DTT配備整體渦輪泵，可快速達到壓力，使涂層過程在幾分鐘內開始。它是研究、實驗室和產品應用的理想選擇

DTT-Turbo三重熱蒸發系統配備7英寸彩色觸摸屏和全自動控制和數據輸入，即使是沒有經驗的用戶也可以操作該系統。
真空、電流和沉積信息在觸摸屏上顯示為數字數據或曲線。該系統還將最后300種涂層的信息保存在歷史頁面中。

三源蒸發或帶蒸發源（船/籃/線圈）選擇系統的臺式熱蒸發器是沉積多層或合金的理想選擇。

DTT蒸發
渦輪分子泵
90 L/s渦輪分子泵直接安裝在真空包封基板上，并由6 m3/h的兩級旋轉泵支撐，該泵引入清潔的真空，沒有普通擴散泵通常存在的油污染

熱蒸發
船/籃子/線圈
臺式熱蒸發器可以配備三個獨立的熱阻熱蒸發源。蒸發源支架的良好設計不會導致源材料相互污染。源支架的長度可以在5cm~9cm的范圍內調整。

特點

多層熱涂層
大幅面腔室
高真空渦輪泵300 l/s
隔膜背壓泵
全量程真空計
多層薄膜沉積的蒸發源（舟/籃/線圈）選擇
鈷蒸發形成合金膜
用于實時厚度測量的石英晶體監測系統（1nm精度）
手動模式、電源、時間控制
自動定時和厚度沉積
易于使用的觸摸屏控制面板
快速數據輸入
用戶友好
可通過網絡更新的軟件
配備電子快門
配備旋轉式樣品架
500°C輻照基板加熱器

規格

多船、籃子和線圈安裝
極限真空度：小于2×10-6torr
板內處理器記錄并繪制涂層參數圖
用于導出沉積過程數據的USB端口
自動控制：功率和涂層獨立于壓力
大電流饋通

應用

• 金屬和電介質薄膜

• 薄膜涂層

• 光學涂層

• 納米和微電子

• 醫療組件

• 磁性設備

• 薄膜多層器件