Vac Techniche手套箱三熱源臺(tái)式涂布機(jī)提供了一個(gè)非常通用的熱蒸發(fā)系統(tǒng)，適用于各種形式的各種源材料，包括線、繩、顆粒和粉末，與舟/籃和線圈源支架兼容。手套箱兼容，遠(yuǎn)程控制，機(jī)動(dòng)室提升機(jī)構(gòu)。
雙磁控靶臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)可以很容易地在蒸發(fā)和濺射沉積之間切換，用于制備多層涂層。
T三個(gè)獨(dú)立的熱阻熱蒸發(fā)源.
源溫度控制選項(xiàng)、襯底溫度監(jiān)測(cè)和控制選項(xiàng)
E蒸發(fā)源支架的設(shè)計(jì)不會(huì)導(dǎo)致源材料相互污染。
T源支架的長度可在50毫米至90毫米的范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。
Co-蒸發(fā)升級(jí)可用
蒸發(fā)源
小船
籃子
線圈/電線
真空系統(tǒng)包括:
耐熱圓柱形耐熱玻璃，外徑300毫米，高200毫米。
90升/秒渦輪分子泵直接安裝在真空外殼底板上，由一個(gè)6 m3/h的兩級(jí)旋轉(zhuǎn)泵支持，該泵引入清潔的真空，沒有普通擴(kuò)散泵通常存在的油污染
干式前級(jí)泵選項(xiàng)也可用
DTT三蒸發(fā)源選擇是多層或合金沉積的理想選擇。
帶整體渦輪泵的DTT可快速達(dá)到壓力，使涂層過程在幾分鐘內(nèi)開始。它是研究、實(shí)驗(yàn)室和產(chǎn)品應(yīng)用的理想選擇
DCT-臺(tái)式碳涂布機(jī)/
渦輪泵碳涂布機(jī)提供多種樣品臺(tái)配置，以滿足各種用戶需求。樣品臺(tái)的設(shè)計(jì)便于旋轉(zhuǎn)、高度可調(diào)和快速互換。對(duì)于多孔樣品的均勻涂層，您可以選擇旋轉(zhuǎn)行星樣品臺(tái)作為附加功能。
DTT-GB蒸發(fā)
渦輪分子泵
90升/秒渦輪分子泵直接安裝在真空外殼底板上，由一個(gè)6 m3/h的兩級(jí)旋轉(zhuǎn)泵支持，該泵引入清潔的真空，沒有普通擴(kuò)散泵通常存在的油污染
特征
- 多層熱涂層
- 大型試驗(yàn)箱
- 高真空渦輪泵300升/秒
- 隔膜前級(jí)泵
- 全量程真空計(jì)
- 用于多層薄膜沉積的蒸發(fā)源(舟/籃/盤管)選擇
- 共蒸發(fā)形成合金薄膜
- 用于實(shí)時(shí)厚度測(cè)量的石英晶體監(jiān)控系統(tǒng)(1 nm精度)
- 手動(dòng)模式、電源、時(shí)間控制
- 自動(dòng)定時(shí)和厚度沉積
- 易于使用的觸摸屏控制面板
- 快速數(shù)據(jù)輸入
- 方便用戶的
- 可以通過網(wǎng)絡(luò)更新的軟件
- 配有電子快門
- 配有旋轉(zhuǎn)樣品架
- 500°C輻射襯底加熱器
應(yīng)用
- 金屬和電介質(zhì)薄膜
- 薄膜涂層
- 光學(xué)涂層
- 納米和微電子
- 醫(yī)療組件
- 磁性設(shè)備
- 薄膜多層器件
