對于2″磁控濺射和等離子體產生
由Vac Techniche Ltd制造的用于濺射的RF發生器和等離子體發生器是用于工業和實驗室沉積、等離子體產生、甚至電介質加熱和熔化的可靠設備。該器件也是半導體制造系統最重要的組件之一，用于生產現代計算機和電子設備中的集成電路(ic)和芯片。
Vac Techniche射頻發生器及其阻抗匹配網絡構成了一個完整的射頻等離子體發生組件。射頻發生器的設計和制造頻率為27.12 MHz、13.56 MHz、2 MHz或客戶指定的其他頻段。
特點
- 反射功率限制器
- 空氣冷卻(DC到射頻的轉換效率大于70%)
- 具有觸摸屏的圖形控制、顯示和調節系統
- 各種保護類型(針對反射功率、過熱、過流和過壓)，能夠自動限制傳輸功率
- 用于遠程控制發電機輸出功率的0-5 V輸入電壓；大于300 W的型號效率超過90%
- 發射和反射功率值的模擬輸出
- 輸出功率的閉環控制，使調整后的功率隨時間保持穩定
- 充分屏蔽以防止輻射和電磁干擾噪聲，并采取必要措施保護操作人員健康
- 可安裝在機架上的盒子
電源 | 220伏(200-240伏)，50赫茲(50-60赫茲) |
輸出頻率 | 13.56兆赫 |
保護 | 各種類型(防止反射功率、過熱、過流和過壓)，尤其是反射功率限制器 |
顯示 | 帶觸摸屏或數字顯示器的圖形顯示器 |
遙控 | 數字RS485 |
工作溫度 | 10-40攝氏度 |
冷卻 | 有空調的 |
輸出阻抗 | 50ω(電阻性) |
RFG150 | RFG300 | RFG600 | RFG1000 | RFG2000 | RFG5000 | |
頻率(兆赫) | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 |
功率(瓦) | 150 | 300 | 600 | 1000 | 2000 | 5000 |
輸出阻抗(歐姆) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
連接類型 | 模擬和數字max485 | 模擬和數字max485 | 模擬和數字max485 | 模擬和數字max485 | 模擬和數字max485 | 模擬和數字max485 |
前面板顯示器 | 液晶顯示 | 液晶顯示 | 液晶顯示 | 液晶顯示 | 7段 | 7段 |
輸出連接器 | N | N | N | N | N | 7/16 |
觸摸屏 | 是 | 是 | 是 | 是 | 不 | 不 |
輸入功率 | 單相 | 單相 | 單相 | 單相 | 3階段 | 3階段 |
冷卻 | 用空氣冷卻的 | 用空氣冷卻的 | 用空氣冷卻的 | 用空氣冷卻的 | 用空氣冷卻的 | 空氣和水冷 |