VacTechniche臺式濺射鍍膜機-DSR1、臺式磁控濺射鍍膜機DSR1、濺射涂布機
臺式濺射鍍膜機-DSR1
SEM涂層機|濺射涂層機
SEM/TEM樣品制備真空技術
Vac Techniche臺式濺射鍍膜機能夠在不導電或導電性差的樣品或設備上濺射貴金屬薄膜：金（Au）、鈀（Pd）、鉑（Pt）和金/鈀（Au/Pd）。
使用濺射涂層制備樣品是公認的非導電和低導電試樣或樣品的方法。
DTE配備了大電流電源和低壓（電阻）熱蒸發平臺，適用于各種熱蒸發應用。
VacTechniche DSR1的開發超越了SEM/TEM樣品制備的要求。緊湊且易于使用的濺射涂布機可以選擇使用現有的泵或隨泵提供。對于外部泵送，車載計算機控制泵或泵送設備。
臺式磁控濺射鍍膜機（DSR1）是一種高效工具，以在全自動系統中提供一致且高度可重復的結果而聞名。其符合人體工程學的設計和較小的占地面積使DSR1 SEM涂層系統易于使用。
DSR1-170是一款專門為制備掃描電子顯微鏡（SEM）樣品而設計的濺射涂布機。
DSR1配備了2英寸磁控陰極和80W開關直流電源，適用于各種研究和薄膜應用。此外，它可以配備水冷陰極，使其適用于延長沉積過程。該型號可容納尺寸高達4英寸的基板。
| DSR1臺式濺射鍍膜機配備7英寸彩色觸摸屏和全自動控制軟件。它以數字或曲線形式顯示真空和涂層數據。最近300次涂層的歷史記錄被存儲，可以通過USB端口傳輸到PC。 |
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| DSR1提供各種樣品臺配置，以滿足不同的用戶需求。標準樣品臺可旋轉，高度和角度可調，便于更換。此外，還可以選擇旋轉行星樣品臺，這是在多孔試樣上實現均勻涂層的理想選擇。 |
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特點
- 兩級旋轉泵選項
- 2英寸濺射頭
- 碳纖維頭升級選項
- 碳桿頭升級選項
- 石英晶體厚度監測器。
- 觸摸屏控制。
- 快速數據輸入。
- 用戶友好的軟件。
- 精確控制涂層速率。
- 時間和厚度濺射的手動控制選項。
- 手動設置、時間、厚度和濺射功率。
- 自動定時和厚度濺射。
- 旋轉臺為標準配置。
應用
SEM和TEM樣品制備。
薄膜沉積涂層。
金屬濺射沉積。
光學涂層。
樣品濺射涂層。
諾貝爾金屬濺射。
多樣品涂層。
規格
能夠沉積貴金屬
能夠進行GLAD濺射
外徑170毫米、高度140毫米的派熱克斯氣缸室
尺寸：高45厘米x寬46厘米x深37厘米
高精度厚度監測儀
極限真空度：小于40毫托
氬氣電子泄漏閥
陰極自動溫度控制，延長磁體壽命
通過全自動觸摸屏面板高效輸入數據
記錄并繪制涂層參數
內置USB端口，用于將曲線和沉積數據傳輸到PC
電源：220V-110V，50/60 Hz，1.5 kW
80瓦直流開關電源
裝運重量（包括真空泵）：42公斤