對(duì)于2″磁控濺射和等離子體產(chǎn)生
由Vac Techniche Ltd制造的用于濺射的RF發(fā)生器和等離子體發(fā)生器是用于工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室沉積、等離子體產(chǎn)生、甚至電介質(zhì)加熱和熔化的可靠設(shè)備。該器件也是半導(dǎo)體制造系統(tǒng)最重要的組件之一，用于生產(chǎn)現(xiàn)代計(jì)算機(jī)和電子設(shè)備中的集成電路(ic)和芯片。
Vac Techniche射頻發(fā)生器及其阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成了一個(gè)完整的射頻等離子體發(fā)生組件。射頻發(fā)生器的設(shè)計(jì)和制造頻率為27.12 MHz、13.56 MHz、2 MHz或客戶指定的其他頻段。
特點(diǎn)
- 反射功率限制器
- 空氣冷卻(DC到射頻的轉(zhuǎn)換效率大于70%)
- 具有觸摸屏的圖形控制、顯示和調(diào)節(jié)系統(tǒng)
- 各種保護(hù)類型(針對(duì)反射功率、過熱、過流和過壓)，能夠自動(dòng)限制傳輸功率
- 用于遠(yuǎn)程控制發(fā)電機(jī)輸出功率的0-5 V輸入電壓；大于300 W的型號(hào)效率超過90%
- 發(fā)射和反射功率值的模擬輸出
- 輸出功率的閉環(huán)控制，使調(diào)整后的功率隨時(shí)間保持穩(wěn)定
- 充分屏蔽以防止輻射和電磁干擾噪聲，并采取必要措施保護(hù)操作人員健康
- 可安裝在機(jī)架上的盒子
電源 | 220伏(200-240伏)，50赫茲(50-60赫茲) |
輸出頻率 | 13.56兆赫 |
保護(hù) | 各種類型(防止反射功率、過熱、過流和過壓)，尤其是反射功率限制器 |
顯示 | 帶觸摸屏或數(shù)字顯示器的圖形顯示器 |
遙控 | 數(shù)字RS485 |
工作溫度 | 10-40攝氏度 |
冷卻 | 有空調(diào)的 |
輸出阻抗 | 50ω(電阻性) |
RFG150 | RFG300 | RFG600 | RFG1000 | RFG2000 | RFG5000 | |
頻率(兆赫) | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 | 13.56 |
功率(瓦) | 150 | 300 | 600 | 1000 | 2000 | 5000 |
輸出阻抗(歐姆) | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 | 50 |
連接類型 | 模擬和數(shù)字max485 | 模擬和數(shù)字max485 | 模擬和數(shù)字max485 | 模擬和數(shù)字max485 | 模擬和數(shù)字max485 | 模擬和數(shù)字max485 |
前面板顯示器 | 液晶顯示 | 液晶顯示 | 液晶顯示 | 液晶顯示 | 7段 | 7段 |
輸出連接器 | N | N | N | N | N | 7/16 |
觸摸屏 | 是 | 是 | 是 | 是 | 不 | 不 |
輸入功率 | 單相 | 單相 | 單相 | 單相 | 3階段 | 3階段 |
冷卻 | 用空氣冷卻的 | 用空氣冷卻的 | 用空氣冷卻的 | 用空氣冷卻的 | 用空氣冷卻的 | 空氣和水冷 |