DST2-TG磁控臺式濺射鍍膜機是一種高精度半自動/全自動真空鍍膜系統，配有一個大室(直徑300毫米)和兩個直徑2英寸的水冷陰極，這使其適合長時間沉積。該系統是用于濺射、碳纖維和金屬蒸發的單一平臺。磁控管臺式濺射鍍膜機可以濺射半導體、電介質和金屬靶。濺射陰極和熱蒸發舟可以安裝在一起或互換，總共可以使用三個沉積源。通過利用碳纖維，碳沉積也成為可能。

特征

• 用于手套箱安裝的濺射鍍膜機和熱蒸發器的組合

• 內置的渦輪分子泵

• 大室:直徑。30厘米，身高。20-25厘米

• 簡單快速的目標安裝:不需要目標持有人

• 利用具有背板的靶的增強熱傳導

• 旋轉樣品架

• 安裝在手套箱上的KF40饋通，用于電源(DC、射頻、高電流)、真空泵軟管、水冷卻和氬氣/活性氣體連接以及電氣連接。

• 通過MFC進行氣體注入控制

• 雙精度石英晶體厚度傳感器

規范

• 在手套箱安裝的室中，在惰性氣體氣氛下，在沉積過程之前或之后進行安全和清潔的襯底處理

• 極限真空:小于8×10-6托

• 高度可控的室環境和手套箱內的高純度薄層沉積

• 無需標靶支架即可輕松快速安裝標靶

• 利用具有背板的靶來改善熱傳導

• 每個陰極的獨立濺射控制速率，以產生細晶粒結構

• 自動安全控制陰極溫度，以保護磁鐵的使用壽命

• 使用全自動觸摸屏控制快速記錄數據

• 兩個精密質量流量計(MFC ),用于精確控制真空和壓力

• 記錄并繪制涂層參數圖。

• 通過USB端口或Wi-Fi連接將曲線和沉積過程數據傳輸到PC

• 0- 1200伏0-500毫安DC電源