DTT渦輪三重?zé)嵴舭l(fā)
SEM/TEM涂層系統(tǒng)
Vac Techniche真空鍍膜系統(tǒng)
Vac Techniche三熱源臺(tái)式涂布機(jī)為各種形式的源材料提供了一個(gè)非常通用的熱蒸發(fā)系統(tǒng)，包括線材、繩索、顆粒和粉末，與船/籃和線圈源支架兼容。

三個(gè)獨(dú)立的耐熱熱蒸發(fā)源。
設(shè)計(jì)的蒸發(fā)源支架不會(huì)造成源材料相互污染。
源支架的長(zhǎng)度可以在50mm~90mm的范圍內(nèi)調(diào)整。
共蒸發(fā)升級(jí)可用
蒸發(fā)源：

• 船
• 籃子
• 線圈/電線

真空系統(tǒng)由以下部分組成：
耐熱圓柱形Pyrex，外徑300毫米，高200毫米。
90L/s渦輪分子泵直接安裝在真空包封基板上，并由6m3/h的兩級(jí)旋轉(zhuǎn)泵支撐，該泵引入清潔的真空，沒有普通擴(kuò)散泵通常存在的油污染。
干式背壓泵選項(xiàng)也可用
DTT三重蒸發(fā)源的選擇非常適合多層或合金的沉積。
DTT配備整體渦輪泵，可快速達(dá)到壓力，使涂層過程在幾分鐘內(nèi)開始。它是研究、實(shí)驗(yàn)室和產(chǎn)品應(yīng)用的理想選擇

DTT-Turbo三重?zé)嵴舭l(fā)系統(tǒng)配備7英寸彩色觸摸屏和全自動(dòng)控制和數(shù)據(jù)輸入，即使是沒有經(jīng)驗(yàn)的用戶也可以操作該系統(tǒng)。
真空、電流和沉積信息在觸摸屏上顯示為數(shù)字?jǐn)?shù)據(jù)或曲線。該系統(tǒng)還將最后300種涂層的信息保存在歷史頁面中。

三源蒸發(fā)或帶蒸發(fā)源（船/籃/線圈）選擇系統(tǒng)的臺(tái)式熱蒸發(fā)器是沉積多層或合金的理想選擇。

DTT蒸發(fā)
渦輪分子泵
90 L/s渦輪分子泵直接安裝在真空包封基板上，并由6 m3/h的兩級(jí)旋轉(zhuǎn)泵支撐，該泵引入清潔的真空，沒有普通擴(kuò)散泵通常存在的油污染

熱蒸發(fā)
船/籃子/線圈
臺(tái)式熱蒸發(fā)器可以配備三個(gè)獨(dú)立的熱阻熱蒸發(fā)源。蒸發(fā)源支架的良好設(shè)計(jì)不會(huì)導(dǎo)致源材料相互污染。源支架的長(zhǎng)度可以在5cm~9cm的范圍內(nèi)調(diào)整。

特點(diǎn)

多層熱涂層
大幅面腔室
高真空渦輪泵300 l/s
隔膜背壓泵
全量程真空計(jì)
多層薄膜沉積的蒸發(fā)源（舟/籃/線圈）選擇
鈷蒸發(fā)形成合金膜
用于實(shí)時(shí)厚度測(cè)量的石英晶體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)（1nm精度）
手動(dòng)模式、電源、時(shí)間控制
自動(dòng)定時(shí)和厚度沉積
易于使用的觸摸屏控制面板
快速數(shù)據(jù)輸入
用戶友好
可通過網(wǎng)絡(luò)更新的軟件
配備電子快門
配備旋轉(zhuǎn)式樣品架
500°C輻照基板加熱器

規(guī)格

多船、籃子和線圈安裝
極限真空度：小于2×10-6torr
板內(nèi)處理器記錄并繪制涂層參數(shù)圖
用于導(dǎo)出沉積過程數(shù)據(jù)的USB端口
自動(dòng)控制：功率和涂層獨(dú)立于壓力
大電流饋通

應(yīng)用

• 金屬和電介質(zhì)薄膜

• 薄膜涂層

• 光學(xué)涂層

• 納米和微電子

• 醫(yī)療組件

• 磁性設(shè)備

• 薄膜多層器件