雙磁控靶臺式濺射鍍膜機可以很容易地在蒸發和濺射沉積之間切換，用于制備多層涂層。
蒸發源
小船
籃子
線圈/電線
真空系統包括:
耐熱圓柱形耐熱玻璃，外徑300毫米，高200毫米。
90升/秒渦輪分子泵直接安裝在真空外殼底板上，由一個6 m3/h的兩級旋轉泵支持，該泵引入清潔的真空，沒有普通擴散泵通常存在的油污染
干式前級泵選項也可用
DTT三蒸發源選擇是多層或合金沉積的理想選擇。
帶整體渦輪泵的DTT可快速達到壓力，使涂層過程在幾分鐘內開始。它是研究、實驗室和產品應用的理想選擇
DCT-臺式碳涂布機/
渦輪泵碳涂布機提供多種樣品臺配置，以滿足各種用戶需求。樣品臺的設計便于旋轉、高度可調和快速互換。對于多孔樣品的均勻涂層，您可以選擇旋轉行星樣品臺作為附加功能。
DTT-GB蒸發
渦輪分子泵
90升/秒渦輪分子泵直接安裝在真空外殼底板上，由一個6 m3/h的兩級旋轉泵支持，該泵引入清潔的真空，沒有普通擴散泵通常存在的油污染
特征
- 多層熱涂層
- 大型試驗箱
- 高真空渦輪泵300升/秒
- 隔膜前級泵
- 全量程真空計
- 用于多層薄膜沉積的蒸發源(舟/籃/盤管)選擇
- 共蒸發形成合金薄膜
- 用于實時厚度測量的石英晶體監控系統(1 nm精度)
- 手動模式、電源、時間控制
- 自動定時和厚度沉積
- 易于使用的觸摸屏控制面板
- 快速數據輸入
- 方便用戶的
- 可以通過網絡更新的軟件
- 配有電子快門
- 配有旋轉樣品架
- 500°C輻射襯底加熱器
應用
- 金屬和電介質薄膜
- 薄膜涂層
- 光學涂層
- 納米和微電子
- 醫療組件
- 磁性設備
- 薄膜多層器件
