DTE臺式熱蒸發
臺式涂布機系統
SEM/TEM樣品制備真空技術

DTE是一種臺式熱蒸發器系統，用于在基材上沉積薄層材料，用于研究目的和電子顯微鏡研究。DTE被配置為適用于樣品蒸發實驗的材料蒸發器。這種低預算、小腔室和高真空系統非常適合短時間沉積貴金屬和氧化金屬。

該系統配備了1.2千瓦的大電流直流電源。該系統可以在不同的表面上沉積一層薄薄的蒸發材料，用于不同的應用，如SEM樣品制備。

DTE配備了一個7英寸彩色觸摸屏面板，使用用戶友好的軟件來控制沉積過程數據。真空和涂層順序信息可以在觸摸屏上以數字數據或曲線的形式觀察到，最后300層涂層保存在歷史頁面上。

DTE沉積系統提供了向上和向下金屬蒸發配置的多功能性。
對于向上沉積，材料被裝載到舟源中，樣品被附著在腔室的s型唇上，便于接近。
在向下沉積的情況下，將少量所需材料裝入籃中，并可選擇在基板上使用旋轉樣品架。

DTE配備了大電流電源和低壓（電阻）熱蒸發平臺，適用于各種熱蒸發應用。該系統允許在基板上控制各種材料的熱蒸發。不同類型的熱蒸發源（船、籃子和線圈）可以安裝在單個熱源架上。

特點

物料蒸發半自動控制
配備獨立的直流大電流電源（最大12V，100A）
直徑170mm的硼硅酸鹽SST真空室
內置渦輪泵的高真空度（Leybold 90 l/s）
兩級旋轉（可選隔膜或渦旋）背壓泵
用于實時厚度測量的石英晶體監測系統（1nm精度）
電子快門
兩個用于插入熱源的大電流饋通
可移動熱源架，可向上或向下沉積配置
自動排氣閥
全量程真空計
腔室引線上的S-Clip樣品架
基板上的2英寸旋轉樣品架（可選）
樣品旋轉、高度和傾斜可調（適用于可選的2英寸樣品架）

應用

金屬薄膜
納米與微電子
太陽能電池應用
薄膜傳感器
用于SEM和FE-SEM樣品制備的細粒結構沉積
掃描電鏡樣品制備中的碳纖維閃光蒸發

規格

極限真空度：小于4×10-6Torr
低持續時間沉積工藝
記錄和繪制觸摸屏上顯示的參數
通過USB端口將曲線和沉積過程數據傳輸到PC