壓力-作用在膜上的力-由其變形確定

隔膜真空計特別適合于氣體類型獨立的壓力測量，直至高真空。它們測量的是膜的彈性變形（Δs），這是不同的力作用在膜的不同側面上的結果（見圖）。

電容膜片真空計測量相對壓力。量規中的基準體積被抽空到限定值p?₂，其中p?₂比必須在接收器p?_1中測量的最小壓力小得多。因此，由殘余壓力p?₂給出的總壓力測量誤差可忽略不計。

在電容膜片真空計中，壓力敏感膜充當電容器的電極之一。變形（Δs）作為壓力差的函數會導致其容量變化，可以直接準確地對其進行測量。膜片可以用熱膨脹系數小的不銹鋼制成，也可以用金屬涂層的陶瓷制成。實際上，基于陶瓷的膜對溫度變化較不敏感。此外，它們在粗糙條件下具有更好的松弛性，更高的耐腐蝕性和更好的可用性，因此具有更高的偏置穩定性。膜對溫度變化引起的長度變化不敏感，因為這會影響測量。膜的厚度是決定最小可測量壓力的關鍵因素。通常，具有給定厚度的膜可以覆蓋大約4十年的壓力范圍。

通過將傳感器溫度調節至恒定45°C，可以提高精度。因此，溫度對數據的影響最小。電容膜片真空計的優點是不受氣體類型的影響，精度高（通常為測量值的0.2％）以及耐腐蝕性氣體的能力。