鋁：未來UHV/XHV應用材料 Aluminum: The future material for UHV/XHV applications AluVaC?

鋁：AluVaC? 未來UHV / XHV應用的材料

工業(yè)過程以及研究和開發(fā)，例如加速器技術或EUV技術，都越來越需要更清潔，更好的真空。使用普通的不銹鋼技術
產(chǎn)生超高真空（UHV，p <1·10?-07?mbar）和極高真空（XHV，p <1·10?-11 mbar）是非常耗能，費時的，因此產(chǎn)生高額的費用。比較最常見的材料不銹鋼和鋁。

AluVaC???-鋁- CF部件UND真空室

AluVaC?-鋁-CF組件和真空室。

由于其有希望的特性，鋁被廣泛的宣稱是真空室制造領域以及UHV和XHV真空技術領域中的未來材料。長期穩(wěn)定使用已經(jīng)過充分測試。同時，許多企業(yè)，機構和運營商是喜歡使用AluVaC的??-components。

多種材料特性節(jié)省成本

VACOM現(xiàn)在將鋁CF組件和腔室（AluVaC?）的生產(chǎn)添加到其產(chǎn)品組合中。特別是對于超高壓和XHV的深壓力范圍內(nèi)的真空應用，鋁與不銹鋼相比具有許多優(yōu)勢。

  • 鋁的自然脫氣率低-q?A?<2·10?-14?mbar·l / s / cm?2
  • 通過120°C [393 K]的溫度進行節(jié)能烘烤程序（對于不銹鋼，請參見200 – 450°C [473 – 723 K]）
  • 通過更快的抽空時間實現(xiàn)高效率的工作
  • 低磁導率的腔室和零件的制造（μr = 1,00002）
  • 通過最小的重量在處理方面的優(yōu)勢

優(yōu)質，耐用且可烘烤的鋁質組件，帶CF刀刃

帶有CF刀刃的AluVaC?組件與常見的不銹鋼組件兼容

VACOM完全用鋁合金加工CF連接，而無需額外的涂層或一定量的不銹鋼。6xxx鋁合金的機械強度允許根據(jù)ISO-3669制造耐用的CF刀刃。

通過使用退火銅的墊片AluVaC??刀刃設計用于耐用長期使用。甚至必要的120°C [393 K]烘烤溫度也不會對刀刃的穩(wěn)定性產(chǎn)生可驗證的影響。我們的研究揭示出極低脫氣AluVaC???-components保持它們的功能到熱峰值負載直到180℃[453 K]的峰值溫度（見白皮書3）。

此外，所有AluVaC??與CF-刀刃-components與普通不銹鋼組件兼容！


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