鋁:未來UHV/XHV應用材料 Aluminum: The future material for UHV/XHV applications AluVaC?

鋁:AluVaC? 未來UHV / XHV應用的材料

工業過程以及研究和開發,例如加速器技術或EUV技術,都越來越需要更清潔,更好的真空。使用普通的不銹鋼技術
產生超高真空(UHV,p <1·10?-07?mbar)和極高真空(XHV,p <1·10?-11 mbar)是非常耗能,費時的,因此產生高額的費用。比較最常見的材料不銹鋼和鋁。

AluVaC???-鋁- CF部件UND真空室

AluVaC?-鋁-CF組件和真空室。

由于其有希望的特性,鋁被廣泛的宣稱是真空室制造領域以及UHV和XHV真空技術領域中的未來材料。長期穩定使用已經過充分測試。同時,許多企業,機構和運營商是喜歡使用AluVaC的??-components。

多種材料特性節省成本

VACOM現在將鋁CF組件和腔室(AluVaC?)的生產添加到其產品組合中。特別是對于超高壓和XHV的深壓力范圍內的真空應用,鋁與不銹鋼相比具有許多優勢。

  • 鋁的自然脫氣率低-q?A?<2·10?-14?mbar·l / s / cm?2
  • 通過120°C [393 K]的溫度進行節能烘烤程序(對于不銹鋼,請參見200 – 450°C [473 – 723 K])
  • 通過更快的抽空時間實現高效率的工作
  • 低磁導率的腔室和零件的制造(μr = 1,00002)
  • 通過最小的重量在處理方面的優勢

優質,耐用且可烘烤的鋁質組件,帶CF刀刃

帶有CF刀刃的AluVaC?組件與常見的不銹鋼組件兼容

VACOM完全用鋁合金加工CF連接,而無需額外的涂層或一定量的不銹鋼。6xxx鋁合金的機械強度允許根據ISO-3669制造耐用的CF刀刃。

通過使用退火銅的墊片AluVaC??刀刃設計用于耐用長期使用。甚至必要的120°C [393 K]烘烤溫度也不會對刀刃的穩定性產生可驗證的影響。我們的研究揭示出極低脫氣AluVaC???-components保持它們的功能到熱峰值負載直到180℃[453 K]的峰值溫度(見白皮書3)。

此外,所有AluVaC??與CF-刀刃-components與普通不銹鋼組件兼容!


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