特殊真空視窗和其他組件

ITO（氧化銦錫）用作硼硅酸鹽或藍(lán)寶石視口的涂層，以在保持透光率的同時(shí)提供導(dǎo)電性。這樣可以防止電荷積聚，電場(chǎng)畸變和帶電粒子（例如陶瓷粉末）的吸附。

另外，可以在這些視口上沉積閃爍膜（也稱(chēng)為磷光體膜）以可視化電子的衍射圖。這種涂層視口主要用于表面分析技術(shù)，例如RHEED（反射高能電子衍射）。

在某些應(yīng)用中（例如RHEED），會(huì)生成或使用X射線輻射。為了防止這種輻射離開(kāi)真空室，可以將吸收X射線的鉛玻璃蓋固定在VACOM真空視口上。

為了保持清晰的視野，可在視口的真空側(cè)放置可旋轉(zhuǎn)的視口百葉窗，以保護(hù)玻璃在加工過(guò)程中不受熱量或材料沉積的影響。

為了更靈活地定位光學(xué)元件，可以使用各種特殊設(shè)計(jì)，例如玻璃到金屬的適配器，重新進(jìn)入視口，與金屬管或波紋管連接的視口。通過(guò)這種設(shè)計(jì)，光學(xué)元件可以例如灌入真空室中，從而使其更靠近測(cè)試對(duì)象。這可以用于聚焦目的。另一個(gè)示例是將兩個(gè)腔室與透明玻璃管連接在一起以進(jìn)行監(jiān)視。