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DST2-TGB 手套箱濺射和熱蒸發
臺式濺射系統
Vac Techniche?真空鍍膜系統
DST2-TG 是雙目標渦輪泵浦濺射鍍膜機，帶熱蒸發器，適用于手套箱，是一種多真空鍍膜機系統，將熱蒸發器和濺射鍍膜機結合在一個緊湊的桌面系統中，通過 Wi-Fi 連接進行遠程系統控制，可通過觸摸屏和 PC 進行控制。高真空系統適用于各種材料的沉積。
雙磁控管靶臺式濺射鍍膜機可以在蒸發和濺射沉積之間輕松切換，以制備多層鍍膜。
DST2-TGB
手套箱系統
手套箱系統為敏感材料提供受保護的環境，防止與空氣或濕氣接觸以及不必要的相互作用。DST2-TG 帶手套箱的高真空鍍膜系統可在惰性氣體氣氛下的沉積過程之前或之后提供安全、清潔的基板處理，以及高度可控的腔室環境，有助于在高真空條件下實現高純度薄層沉積。
DST2-TGB
臺式磁控濺射鍍膜機
DST2-TG 磁控管臺式濺射鍍膜機是一種高精度半/全自動真空鍍膜系統，配備一個大腔室（直徑 300 毫米）和兩個直徑為 2 英寸的水冷陰極，使其適用于長時間沉積。該系統是用于濺射、碳纖維和金屬蒸發的單一平臺。磁控管臺式濺射鍍膜機可以濺射半導體、電介質和金屬靶材。濺射陰極和熱蒸發舟可以一起安裝或互換安裝，總共有三個沉積源可用。利用碳纖維也可以實現碳沉積。
DST2-TGB 手套箱濺射和熱蒸發
濺射鍍膜機和熱蒸發器的組合，用于手套箱安裝
內置渦輪分子泵
大腔室：直徑 30 厘米，高。20-25 厘米
簡單快速的目標安裝：無需目標支架
利用帶背板的目標增強熱傳導
旋轉樣品架
安裝在手套箱上的KF40饋入件，用于電源（直流、射頻、大電流）、真空泵軟管、水冷和氬氣/反應氣體連接以及電氣連接。
通過 MFC 進行氣體注入控制
雙精度石英晶體厚度傳感器
Vac Coat 產品在全球范圍內由公共和產品責任保險承保，以防 Vac Coat 系統造成任何財產損失或人身傷害。