英國VacTechniche,真空鍍膜系統(tǒng),濺射鍍膜機,DTT-Turbo 三重熱蒸發(fā)
DTT-Turbo 三重熱蒸發(fā)
SEM/TEM 鍍膜系統(tǒng)
Vac Techniche?真空鍍膜系統(tǒng)
Vac Techniche 三重熱源桌面涂布機為各種形式的源材料（包括線、繩、顆粒和粉末）提供了一個非常通用的熱蒸發(fā)系統(tǒng)，與船/籃和線圈源支架兼容。
DTT 蒸發(fā)渦輪
分子泵
90 L/s?渦輪分子泵直接安裝在真空包絡底板上，并由 6 m3/h 兩級旋轉泵提供支持，該泵可引入清潔真空，而不會像普通擴散泵那樣受到油污染
熱蒸發(fā)
舟/籃/盤管
臺式熱蒸發(fā)器可配備三個獨立的熱阻熱蒸發(fā)源。蒸發(fā)源支架的良好設計不會造成源材料相互污染。源架的長度可在 5cm~9cm 范圍內調整。
DTT-Turbo 三重熱蒸發(fā)儀
特征：
多層熱涂層
大尺寸腔室
高真空渦輪分子泵 300 l/s
隔膜前級泵
全系列真空計
用于多層薄膜沉積的蒸發(fā)源（舟/籃/線圈）選擇
Co – 蒸發(fā)形成合金膜
用于實時厚度測量的石英晶體監(jiān)測系統(tǒng)（精度為 1 nm）
手動模式、電源、時間控制
自動定時和厚度沉積
易于使用的觸摸屏控制面板
快速數(shù)據(jù)輸入
用戶友好
可通過網(wǎng)絡更新的軟件
配備電子快門
配備旋轉樣品架
500 °C 輻照基板加熱器
兩年保修