英國VacTechniche,真空鍍膜系統(tǒng),濺射鍍膜機(jī),PLD-T 脈沖激光器,沉積和熱蒸發(fā)器

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PLD-T 脈沖激光器

沉積和熱蒸發(fā)器

SEM/TEM 樣品制備?Vac Techniche

多功能脈沖激光沉積和熱蒸發(fā)器系統(tǒng) – PLD-T 是一種高真空薄膜沉積系統(tǒng),可通過脈沖激光沉積和熱蒸發(fā)技術(shù)沉積不同的材料。它可以將復(fù)雜材料和晶體結(jié)構(gòu)沉積到基板上,只需很少的設(shè)置。
脈沖激光沉積技術(shù)可實現(xiàn)高效的非熱燒蝕,并保持靶材的化學(xué)計量。通過應(yīng)用這種方法,它可以沉積氮化物、氧化物、超晶格、聚合物和復(fù)合材料等材料。

PLD-T
熱蒸發(fā)源

(舟/籃/盤管)

脈沖激光沉積系統(tǒng)可配備三個獨立的熱阻熱蒸發(fā)源。蒸發(fā)源支架的良好設(shè)計不會使污染物從源材料轉(zhuǎn)移到其他材料。源架的長度可在 5~10 cm 范圍內(nèi)調(diào)節(jié),滿足客戶要求。

DCT-Desktop 碳素涂布機(jī)

  • 轉(zhuǎn)速可調(diào)的目標(biāo)機(jī)械手
  • 3 個熱源和特殊的饋入件
  • 用于實時厚度測量的石英晶體監(jiān)測系統(tǒng)(精度為 1 nm)
  • 直觀的觸摸屏,用于控制涂層過程和快速數(shù)據(jù)輸入
  • 等離子清洗
  • 用戶友好型軟件,可通過網(wǎng)絡(luò)更新
  • 配備旋轉(zhuǎn)樣品架
  • 配備電子快門
  • 配備機(jī)動船選擇
  • 500 °C 基板加熱器
  • 兩年保修

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