脈沖激光沉積系統(tǒng)可配備三個獨立的熱阻熱蒸發(fā)源。蒸發(fā)源支架的良好設(shè)計不會使污染物從源材料轉(zhuǎn)移到其他材料。源架的長度可在 5~10 cm 范圍內(nèi)調(diào)節(jié),滿足客戶要求。
DCT-Desktop 碳素涂布機(jī)
轉(zhuǎn)速可調(diào)的目標(biāo)機(jī)械手
3 個熱源和特殊的饋入件
用于實時厚度測量的石英晶體監(jiān)測系統(tǒng)(精度為 1 nm)
直觀的觸摸屏,用于控制涂層過程和快速數(shù)據(jù)輸入
等離子清洗
用戶友好型軟件,可通過網(wǎng)絡(luò)更新
配備旋轉(zhuǎn)樣品架
配備電子快門
配備機(jī)動船選擇
500 °C 基板加熱器
兩年保修