用于射頻等離子體控制的 5000w （25KV） 自動匹配網絡將等離子室的射頻產生阻抗更改為 50 歐姆，以達到從發生器到腔室的最大功率。Vac Techniche?自動匹配網絡以三種獨立模式運行。

自動模式持續補償等離子外殼的阻抗變化。

手動模式允許操作員在此過程中更改匹配的電容值。

在預設模式下，操作員可以在開始時自動調整電容值，使其接近完全匹配條件，以便更快地進行匹配。
各種參數可以調整，并通過控制器系統的前面板和 VGA 連接觀察其性能。

該設備的一些特殊應用是各種用途的等離子體生產，例如沉積的不同階段（清潔、蝕刻、濺射等）以及納米技術領域中微電子元件的制造。