英國VacTechniche,RF 電源,射頻等離子發生器 ,用于濺射和等離子體產生的射頻發生器 100w、200w、300w、600w 至 5000w

英國VacTechniche,RF 電源,射頻等離子發生器?,用于濺射和等離子體產生的射頻發生器 100w、200w、300w、600w 至 5000w

Vac Techniche?Ltd 制造的用于濺射和等離子體發生器的射頻發生器是用于工業和實驗室沉積、等離子體生成甚至介電加熱和熔化的可靠設備。該器件也是半導體制造系統中最重要的組件之一，用于生產現代計算機和電子設備中的集成電路 （IC） 和芯片。Vac Techniche 射頻發生器及其阻抗匹配網絡構成了一個完整的射頻等離子體發生組件。

射頻發生器根據客戶設計和制造 27.12 MHz、13.56 MHz、2 MHz 或其他頻段。

為什么是 13.56 MHz？

該頻率是工業、科學和醫療 （ISM） 無線電頻段中最常用的頻率之一。該頻段用于一般用途，因此允許進行高功率活動，而不會對周圍的電信系統造成任何干擾。該頻段使用功率從幾毫瓦到幾百千瓦不等的發電機。

Vac Techniche 射頻 （RF） 發生器

這些發生器的設計是射頻電子設備、高級功率放大器保護、閉環控制和高安全系數的組合。

簡單的制造和維修程序以及非常高的效率是該產品的一些獨特品質。其他功能包括防止產生電磁干擾的安全性、連續運行能力、易于操作和控制、聲明產生的錯誤類型、傳輸和反射功率的顯示、用于控制發電機輸出功率的 0-5 V 輸入電壓（可選）、發射和反射功率值的模擬輸出（可選）、限制反射功率的能力， 以及壓縮空氣冷卻系統。

Vac Techniche 生產的該設備型號從 100 W 到 15 kW 不等，帶有半導體元件，最高型號為 100 kW，帶有基于真空管的放大器。

特征

• 反射功率限制器
• 風冷（DC 到 RF 轉換效率大于 70%）
• 帶觸摸屏的圖形控制、顯示和調節系統
• 各種保護類型（反射功率、過熱、過流和過壓），能夠自動限制發射功率
• 用于遠程控制發電機輸出功率的 0-5 V 輸入電壓;大于 300 W 的型號的效率超過 90%
• 傳輸功率和反射功率值的模擬輸出
• 輸出功率閉環控制，隨時間穩定調整后的功率
• 足夠的屏蔽以防止輻射和 EMI 噪聲，并采取必要措施來保護操作員的健康
• 機架式包裝盒