VacTechniche,DSR1,臺(tái)式濺射涂布機(jī)

VacTechniche,DSR1,臺(tái)式濺射涂布機(jī)

臺(tái)式濺射涂布機(jī)-DSR1
掃描電子顯微鏡涂布機(jī) | 濺射涂布機(jī)
掃描電鏡/透射電鏡樣品制備 Vac Techniche

Vac Techniche臺(tái)式濺射涂布機(jī)用于在非導(dǎo)電或?qū)щ娦圆畹臉悠坊蚱骷线M(jìn)行貴金屬薄膜濺射涂層,如金(Au)、鈀(Pd)、鉑(Pt)和金/鈀(Au/Pd)合金。

使用濺射涂布進(jìn)行樣品制備是針對(duì)非導(dǎo)電和低導(dǎo)電性樣品的公認(rèn)方法。

DTE配備了高電流電源和低電壓(電阻性)熱蒸發(fā)平臺(tái),適用于各種熱蒸發(fā)應(yīng)用。

臺(tái)式濺射涂布機(jī) | DSR1
VacTechniche DSR1被設(shè)計(jì)用于超越掃描電子顯微鏡(SEM)/透射電子顯微鏡(TEM)樣品制備的要求。該緊湊且易于使用的濺射涂布機(jī)提供使用現(xiàn)有泵的選項(xiàng),或者可以配備泵。如果使用外部泵,系統(tǒng)中的計(jì)算機(jī)會(huì)控制泵或泵裝置。

臺(tái)式磁控濺射涂布機(jī)(DSR1) 是一款高效的工具,以其在全自動(dòng)系統(tǒng)中提供一致且高度可重復(fù)的結(jié)果而聞名。其符合人體工程學(xué)的設(shè)計(jì)和小巧的占地面積使DSR1 SEM涂層系統(tǒng)易于使用。

DSR1-170 配備了一個(gè)專門設(shè)計(jì)用于掃描電子顯微鏡(SEM)樣品制備的濺射涂布機(jī)。
DSR1配備了2英寸磁控陰極和80W開關(guān)直流電源,適用于各種研究和薄膜應(yīng)用。此外,它還可以配備水冷陰極,適合用于長時(shí)間的沉積過程。此型號(hào)支持最大4英寸的基板。

 

觸摸屏控制

DSR1臺(tái)式濺射涂布機(jī)配有7英寸彩色觸摸屏和全自動(dòng)控制軟件。它能以數(shù)字方式或曲線顯示真空和涂層數(shù)據(jù)。最后300次涂層的歷史記錄會(huì)被保存,并可以通過USB端口轉(zhuǎn)移到PC上。

樣品支架
DSR1提供多種樣品臺(tái)配置,適應(yīng)不同用戶的需求。標(biāo)準(zhǔn)樣品臺(tái)可旋轉(zhuǎn),且具有可調(diào)高度和角度,方便更換。此外,還提供旋轉(zhuǎn)行星樣品臺(tái),特別適用于在多孔樣品上實(shí)現(xiàn)均勻涂層。

更多信息:

對(duì)于氧化金屬的濺射涂布,請(qǐng)參見 DST1-300(渦輪泵臺(tái)式濺射涂布機(jī))。

特征:

  • 雙級(jí)旋轉(zhuǎn)泵選項(xiàng)
  • 2英寸濺射頭
  • 碳纖維頭升級(jí)選項(xiàng)
  • 碳棒頭升級(jí)選項(xiàng)
  • 石英晶體厚度監(jiān)測(cè)儀
  • 觸摸屏控制
  • 快速數(shù)據(jù)輸入
  • 用戶友好的軟件
  • 精確控制涂層速率
  • 時(shí)間與厚度濺射的手動(dòng)控制選項(xiàng)
  • 手動(dòng)設(shè)置:時(shí)間、厚度和濺射功率
  • 自動(dòng)定時(shí)與厚度濺射
  • 標(biāo)配旋轉(zhuǎn)平臺(tái)
  • 兩年保修
  • 符合CE認(rèn)證

應(yīng)用:

  • SEM和TEM樣品準(zhǔn)備
  • 薄膜沉積涂層
  • 金屬濺射沉積
  • 光學(xué)涂層
  • 樣品濺射涂層
  • 貴金屬濺射
  • 多樣品涂層

自動(dòng)化:

  • 直觀的觸摸屏控制涂層過程,并支持快速數(shù)據(jù)輸入
  • 用戶友好的軟件,可通過網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行更新
  • 控制涂層速率,以實(shí)現(xiàn)更精細(xì)的晶粒結(jié)構(gòu)
  • 半全自動(dòng)涂層過程(可選)
  • 在自動(dòng)模式下可重復(fù)且可編程的濺射過程
  • 手動(dòng)或自動(dòng)定時(shí)和厚度沉積
  • 能夠記錄和繪制涂層參數(shù)圖表
  • 存儲(chǔ)涂層配方以實(shí)現(xiàn)可重復(fù)的沉積

規(guī)格:

  • 能夠沉積貴金屬
  • 能夠執(zhí)行GLAD濺射
  • 170 mm外徑 x 140 mm高度的Pyrex玻璃圓筒腔室
  • 外形尺寸:高度45 cm x 寬度46 cm x 深度37 cm
  • 高精度厚度監(jiān)測(cè)儀
  • 極限真空:低于40 mTorr
  • 電子泄漏閥用于氬氣
  • 自動(dòng)溫控系統(tǒng),延長磁體壽命
  • 通過全自動(dòng)觸摸屏面板高效數(shù)據(jù)輸入
  • 記錄并繪制涂層參數(shù)圖表
  • 內(nèi)置USB端口用于將曲線和沉積數(shù)據(jù)傳輸?shù)絇C
  • 電源:220V-110V,50/60 Hz,1.5 kW
  • 80瓦DC開關(guān)電源
  • 運(yùn)送重量(包括真空泵):42 kg

可選項(xiàng)和配件:

  • 碳棒蒸發(fā)升級(jí)選項(xiàng)
  • 碳纖維蒸發(fā)升級(jí)選項(xiàng)
  • 石英晶體
  • 密封墊圈
  • 等離子清潔器
  • 行星樣品旋轉(zhuǎn)
  • 備用玻璃
  • 濺射靶

DSR1 薄膜適用性
該薄膜適用于掃描電子顯微鏡(SEM)分析。桌面磁控濺射鍍膜儀作為一款高生產(chǎn)力的儀器,憑借其全自動(dòng)系統(tǒng),始終能夠提供可靠且可重復(fù)的結(jié)果。其符合人體工程學(xué)設(shè)計(jì),緊湊的外形確保了操作的便捷性和易用性。

 

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http://ydzhly.com/vactechniche-desktop-sputter-coater/DSR1/