臺式濺射涂布機-DSR1
掃描電子顯微鏡涂布機 | 濺射涂布機
掃描電鏡/透射電鏡樣品制備 Vac Techniche
Vac Techniche臺式濺射涂布機用于在非導電或導電性差的樣品或器件上進行貴金屬薄膜濺射涂層，如金（Au）、鈀（Pd）、鉑（Pt）和金/鈀（Au/Pd）合金。
使用濺射涂布進行樣品制備是針對非導電和低導電性樣品的公認方法。
DTE配備了高電流電源和低電壓（電阻性）熱蒸發平臺，適用于各種熱蒸發應用。
臺式濺射涂布機 | DSR1
VacTechniche DSR1被設計用于超越掃描電子顯微鏡（SEM）/透射電子顯微鏡（TEM）樣品制備的要求。該緊湊且易于使用的濺射涂布機提供使用現有泵的選項，或者可以配備泵。如果使用外部泵，系統中的計算機會控制泵或泵裝置。
臺式磁控濺射涂布機（DSR1） 是一款高效的工具，以其在全自動系統中提供一致且高度可重復的結果而聞名。其符合人體工程學的設計和小巧的占地面積使DSR1 SEM涂層系統易于使用。
DSR1-170 配備了一個專門設計用于掃描電子顯微鏡（SEM）樣品制備的濺射涂布機。
DSR1配備了2英寸磁控陰極和80W開關直流電源，適用于各種研究和薄膜應用。此外，它還可以配備水冷陰極，適合用于長時間的沉積過程。此型號支持最大4英寸的基板。
觸摸屏控制
DSR1臺式濺射涂布機配有7英寸彩色觸摸屏和全自動控制軟件。它能以數字方式或曲線顯示真空和涂層數據。最后300次涂層的歷史記錄會被保存，并可以通過USB端口轉移到PC上。
樣品支架
DSR1提供多種樣品臺配置，適應不同用戶的需求。標準樣品臺可旋轉，且具有可調高度和角度，方便更換。此外，還提供旋轉行星樣品臺，特別適用于在多孔樣品上實現均勻涂層。
更多信息：
對于氧化金屬的濺射涂布，請參見 DST1-300（渦輪泵臺式濺射涂布機）。
特征：
- 雙級旋轉泵選項
- 2英寸濺射頭
- 碳纖維頭升級選項
- 碳棒頭升級選項
- 石英晶體厚度監測儀
- 觸摸屏控制
- 快速數據輸入
- 用戶友好的軟件
- 精確控制涂層速率
- 時間與厚度濺射的手動控制選項
- 手動設置：時間、厚度和濺射功率
- 自動定時與厚度濺射
- 標配旋轉平臺
- 兩年保修
- 符合CE認證
應用：
- SEM和TEM樣品準備
- 薄膜沉積涂層
- 金屬濺射沉積
- 光學涂層
- 樣品濺射涂層
- 貴金屬濺射
- 多樣品涂層
自動化：
- 直觀的觸摸屏控制涂層過程，并支持快速數據輸入
- 用戶友好的軟件，可通過網絡進行更新
- 控制涂層速率，以實現更精細的晶粒結構
- 半全自動涂層過程（可選）
- 在自動模式下可重復且可編程的濺射過程
- 手動或自動定時和厚度沉積
- 能夠記錄和繪制涂層參數圖表
- 存儲涂層配方以實現可重復的沉積
規格：
- 能夠沉積貴金屬
- 能夠執行GLAD濺射
- 170 mm外徑 x 140 mm高度的Pyrex玻璃圓筒腔室
- 外形尺寸：高度45 cm x 寬度46 cm x 深度37 cm
- 高精度厚度監測儀
- 極限真空：低于40 mTorr
- 電子泄漏閥用于氬氣
- 自動溫控系統，延長磁體壽命
- 通過全自動觸摸屏面板高效數據輸入
- 記錄并繪制涂層參數圖表
- 內置USB端口用于將曲線和沉積數據傳輸到PC
- 電源：220V-110V，50/60 Hz，1.5 kW
- 80瓦DC開關電源
- 運送重量（包括真空泵）：42 kg
可選項和配件：
- 碳棒蒸發升級選項
- 碳纖維蒸發升級選項
- 石英晶體
- 密封墊圈
- 等離子清潔器
- 行星樣品旋轉
- 備用玻璃
- 濺射靶
DSR1 薄膜適用性
該薄膜適用于掃描電子顯微鏡（SEM）分析。桌面磁控濺射鍍膜儀作為一款高生產力的儀器，憑借其全自動系統，始終能夠提供可靠且可重復的結果。其符合人體工程學設計，緊湊的外形確保了操作的便捷性和易用性。
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