真空鍍膜 桌面鍍膜系統 緊湊型桌面鍍膜系統 DCT

DCT渦輪泵送碳涂層系統? ? SEM/TEM制備碳涂層器，低真空和高真空系統

臺式緊湊型碳纖維鍍膜系統，適用于掃描電子顯微鏡（SEM）、透射電子顯微鏡（TEM）和X射線分析（EDX）中使用的樣品制備。

此設備有兩種模式：

DCR是一種旋轉泵送碳涂層機，適用于SEM樣品制備、EDS/WDS和薄膜應用。

DCT是一種渦輪泵送碳涂層機，非常適合FE-SEM、EDS/WDS、TEM、EBSD和薄膜應用。

這種高真空鍍膜機提供了具有精細晶粒尺寸的高質量均勻碳膜，適用于需要高分辨率和高質量表征的樣品。

使用碳涂層制備樣品是非導電和低導電樣品或樣品的公認方法。

Vac-Techniche DCT系統是一種多功能碳蒸發器，用于制備電子顯微鏡或EDXA分析樣品。它被設計成一種能夠蒸發碳棒和碳纖維的大電流電源。換句話說，它可以將碳涂覆在不同類型的基材上進行X射線分析，并涂覆導電碳纖維和棒進行SEM分析。

該系統的卓越設計使用戶能夠輕松裝載和卸載樣品，并快速更換碳纖維/棒。該系統配備了薄膜厚度監測器（FTM），該監測器以1nm的精度測量安裝在真空室中的石英晶體上的涂層厚度。當達到所需的厚度或時間時，該系統可以自動終止涂層循環。。

緊湊且易于使用的碳涂層機，可以選擇使用現有的泵或隨泵提供。

對于外部泵送，車載計算機控制泵或泵送設備。

我們增加的真空室DCR-L和DCT-L系統可以容納更大的樣本

碳涂層

由于其優異的透明度和良好的導電性，沉積的碳薄膜被廣泛用于電子顯微鏡（EM）或X射線顯微分析應用，例如：

?用于TEM（高真空（HV）蒸發）的支撐膜

?用于SEM/EDS樣品的導電膜（低真空蒸發）

?非導電微探針樣品的導電表面膜（高壓蒸發）

?非導電EBSD樣品的導電表面膜（高壓蒸發）

?非導電FESEM樣品的導電表面膜（高壓蒸發）

?非導電FIB樣品的導電表面膜（高壓蒸發）

我們的板機集成使臺式濺射鍍膜機成為掃描電子顯微鏡（SEM）和隧道電子顯微鏡分析（TEM）的理想實驗室和研究工具。

約5納米（50?）的薄膜用于粒子支撐和放射自顯影中的隔離層。較厚的薄膜也用于掃描電鏡和X射線顯微分析。一般來說，沉積的薄膜應該是均勻的，具有精細的晶粒尺寸和可重復的膜厚度。

碳棒和碳纖維是世界各地實驗室中廣泛使用的兩種碳蒸發源。它們每個都有自己的功能，這使得它們對用戶具有特定的興趣。為了更好地理解，這些功能的進一步細節將在以下部分中介紹。

碳棒與碳纖維蒸發

蒸發碳線或預成型碳棒都是蒸發碳的常用方法。使用具有正確控制系統（脈沖、連續和自動）的預成型棒可以提供高質量的碳層，還可以很好地控制碳層的厚度。然而，一些用戶更喜歡使用碳纖維，因為與碳棒相比，碳纖維的工藝更快、更簡單。