英國VacTechniche,真空鍍膜系統(tǒng),濺射鍍膜機,渦輪泵濺射鍍膜機 DST1-170

英國VacTechniche,真空鍍膜系統(tǒng),濺射鍍膜機,渦輪泵濺射鍍膜機 DST1-170

渦輪泵濺射鍍膜機 DST1-170

SEM 鍍膜機 |濺射鍍膜機

SEM/TEM 樣品制備 Vac Techniche

介紹 DST1-170,這是一款先進的高真空磁控管臺式濺射鍍膜機。這種緊湊的涂層系統(tǒng)以其多功能性而著稱,能夠有效地涂覆氧化性和非氧化性金屬。DST1-170 是短期沉積需求的理想選擇,擅長快速生產(chǎn)具有細晶粒紋理的均勻薄膜。通過這種創(chuàng)新解決方案體驗快速而精確的涂層周期。

vac Coat DST1-170 具有最小的臺式占地面積之一,可為高分辨率 SEM 和 TEM 樣品制備提供直流濺射。

臺式濺射鍍膜機 |DSR1 系列

臺式磁控濺射鍍膜機 (DSR1) 是一種高效的工具,以在全自動系統(tǒng)中提供一致且高度可重復(fù)的結(jié)果而聞名。DSR1 SEM 鍍膜系統(tǒng)采用符合人體工程學的設(shè)計和較小的占地面積,易于使用。

由于自動過程控制,可提供具有可重復(fù)結(jié)果的高分辨率清晰度涂層,從而輕松設(shè)置和操作。

DST1-170 也可用于光學和薄膜鍍膜的一般金屬濺射。 樣品旋轉(zhuǎn)是標準配置,大多數(shù)應(yīng)用都可以調(diào)整傾斜和高度。 Vac Techniche 還有一系列更大的渦輪泵浦濺射鍍膜機,可選擇 1 至 3 英寸、2 英寸磁控管、射頻和直流、樣品加熱,該系列是 DST1-300 系列。

DST1-170?也可用于光學和薄膜鍍膜的一般金屬濺射。
DST1-170?可配備水冷陰極,使其適合長時間沉積。
此模型中基板的最大尺寸可以是 4 英寸。
DST1 可以配備水冷陰極,使其適合長時間沉積。
此模型中基板的最大尺寸可以是 4 英寸

DST1-170 潔凈真空
脈沖碳纖維升級選項

真空室是圓柱形 Pyrex。DST1-170 配有一個內(nèi)部安裝的 90 L/s 渦輪分子泵,由一個 6 m3/h 的兩級旋片泵提供支持。它引入了普通擴散泵通常存在的無油污染的清潔真空。

DST1-170 蒸發(fā)
脈沖碳纖維升級選項

緊湊的臺式真空濺射和碳鍍膜機專為小腔室設(shè)計,具有令人印象深刻的脈沖碳纖維蒸發(fā)能力。在此過程中使用短脈沖可以在沉積過程中實現(xiàn)更精細的控制,并且作為一個顯著的好處,可以大大減少通常與傳統(tǒng)碳沉積方法相關(guān)的碎屑的產(chǎn)生。這一進步不僅提高了涂層精度,還大大減輕了碎屑帶來的挑戰(zhàn),使其成為各個領(lǐng)域的研究人員和專業(yè)人士的寶貴工具。

渦輪泵浦濺射鍍膜機 |DST1-170 系列特征

  • 高真空渦輪分子泵。
  • 隔膜前級泵。
  • 全系列真空計。
  • 碳纖維蒸發(fā)(升級選項 DSCT
  • 脈沖或閃光碳纖維涂層模式(升級選項 DSCT)
  • 高精度石英晶體厚度監(jiān)測器。
  • 直觀的觸摸屏,用于控制涂層過程和快速數(shù)據(jù)輸入
  • 用戶友好型軟件,可通過網(wǎng)絡(luò)進行更新。
  • 控制涂層速率以獲得更精細的晶粒結(jié)構(gòu)。
  • 手動或自動定時和厚度濺射。
  • 能夠記錄和繪制涂層參數(shù)圖表。
  • 配備電子快門。
  • 易于更換的樣品臺(旋轉(zhuǎn)臺為標準)。
  • 兩年保修。

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