英國VacTechniche,真空鍍膜系統(tǒng),濺射鍍膜機,DST2-TGB 手套箱濺射和熱蒸發(fā),臺式濺射系統(tǒng)
DST2-TGB 手套箱濺射和熱蒸發(fā)
臺式濺射系統(tǒng)
Vac Techniche 真空鍍膜系統(tǒng)
DST2-TG 是雙目標渦輪泵浦濺射鍍膜機,帶熱蒸發(fā)器,適用于手套箱,是一種多真空鍍膜機系統(tǒng),將熱蒸發(fā)器和濺射鍍膜機結(jié)合在一個緊湊的桌面系統(tǒng)中,通過 Wi-Fi 連接進行遠程系統(tǒng)控制,可通過觸摸屏和 PC 進行控制。高真空系統(tǒng)適用于各種材料的沉積。
雙磁控管靶臺式濺射鍍膜機可以在蒸發(fā)和濺射沉積之間輕松切換,以制備多層鍍膜。
DST2-TGB
手套箱系統(tǒng)
手套箱系統(tǒng)為敏感材料提供受保護的環(huán)境,防止與空氣或濕氣接觸以及不必要的相互作用。DST2-TG 帶手套箱的高真空鍍膜系統(tǒng)可在惰性氣體氣氛下的沉積過程之前或之后提供安全、清潔的基板處理,以及高度可控的腔室環(huán)境,有助于在高真空條件下實現(xiàn)高純度薄層沉積。
DST2-TGB
臺式磁控濺射鍍膜機
DST2-TG 磁控管臺式濺射鍍膜機是一種高精度半/全自動真空鍍膜系統(tǒng),配備一個大腔室(直徑 300 毫米)和兩個直徑為 2 英寸的水冷陰極,使其適用于長時間沉積。該系統(tǒng)是用于濺射、碳纖維和金屬蒸發(fā)的單一平臺。磁控管臺式濺射鍍膜機可以濺射半導(dǎo)體、電介質(zhì)和金屬靶材。濺射陰極和熱蒸發(fā)舟可以一起安裝或互換安裝,總共有三個沉積源可用。利用碳纖維也可以實現(xiàn)碳沉積。
DST2-TGB 手套箱濺射和熱蒸發(fā)
濺射鍍膜機和熱蒸發(fā)器的組合,用于手套箱安裝
內(nèi)置渦輪分子泵
大腔室:直徑 30 厘米,高。20-25 厘米
簡單快速的目標安裝:無需目標支架
利用帶背板的目標增強熱傳導(dǎo)
旋轉(zhuǎn)樣品架
安裝在手套箱上的KF40饋入件,用于電源(直流、射頻、大電流)、真空泵軟管、水冷和氬氣/反應(yīng)氣體連接以及電氣連接。
通過 MFC 進行氣體注入控制
雙精度石英晶體厚度傳感器
Vac Coat 產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)由公共和產(chǎn)品責(zé)任保險承保,以防 Vac Coat 系統(tǒng)造成任何財產(chǎn)損失或人身傷害。