DTE 配備了大電流電源和低壓（電阻式）熱蒸發平臺，適用于各種熱蒸發應用。該系統允許將各種材料受控地熱蒸發到基材上。不同類型的熱蒸發源（舟、籃和盤管）可以安裝在單個熱源支架上。

• 物料蒸發半自動控制

• 配備單獨的直流大電流電源（最大 12V，100A）

• 直徑 170 mm 的硼硅酸鹽-SST 真空室

• 內置渦輪分子泵的高真空度 （Leybold 90 l/s）

• 兩級旋轉（可選隔膜或渦旋）前級泵

• 用于實時厚度測量的石英晶體監測系統（精度為 1 nm）

• 電子快門

• 兩個大電流電饋通，用于熱源插入

• 可移動的熱源支架，可向上或向下沉積配置

• 自動排氣閥

• 全系列真空計

• 腔室導線上的 S 形夾樣品架

• 底板上的 2 英寸旋轉樣品架（可選）

• 樣品旋轉、高度和傾斜度可調（用于可選的 2 英寸樣品架）

• 兩年保修