用于射頻等離子體控制的 5000w （25KV） 自動匹配網(wǎng)絡(luò)將等離子室的射頻產(chǎn)生阻抗更改為 50 歐姆，以達(dá)到從發(fā)生器到腔室的最大功率。Vac Techniche 自動匹配網(wǎng)絡(luò)以三種獨(dú)立模式運(yùn)行。

自動模式持續(xù)補(bǔ)償?shù)入x子外殼的阻抗變化。

手動模式允許操作員在此過程中更改匹配的電容值。

在預(yù)設(shè)模式下，操作員可以在開始時(shí)自動調(diào)整電容值，使其接近完全匹配條件，以便更快地進(jìn)行匹配。
各種參數(shù)可以調(diào)整，并通過控制器系統(tǒng)的前面板和 VGA 連接觀察其性能。

該設(shè)備的一些特殊應(yīng)用是各種用途的等離子體生產(chǎn)，例如沉積的不同階段（清潔、蝕刻、濺射等）以及納米技術(shù)領(lǐng)域中微電子元件的制造。