英國(guó)VacTechniche,RF 電源,射頻等離子發(fā)生器 ,用于濺射和等離子體產(chǎn)生的射頻發(fā)生器 100w、200w、300w、600w 至 5000w

英國(guó)VacTechniche,RF 電源,射頻等離子發(fā)生器 ,用于濺射和等離子體產(chǎn)生的射頻發(fā)生器 100w、200w、300w、600w 至 5000w

Vac Techniche Ltd 制造的用于濺射和等離子體發(fā)生器的射頻發(fā)生器是用于工業(yè)和實(shí)驗(yàn)室沉積、等離子體生成甚至介電加熱和熔化的可靠設(shè)備。該器件也是半導(dǎo)體制造系統(tǒng)中最重要的組件之一，用于生產(chǎn)現(xiàn)代計(jì)算機(jī)和電子設(shè)備中的集成電路 （IC） 和芯片。Vac Techniche 射頻發(fā)生器及其阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)構(gòu)成了一個(gè)完整的射頻等離子體發(fā)生組件。

射頻發(fā)生器根據(jù)客戶設(shè)計(jì)和制造 27.12 MHz、13.56 MHz、2 MHz 或其他頻段。

為什么是 13.56 MHz？

該頻率是工業(yè)、科學(xué)和醫(yī)療 （ISM） 無線電頻段中最常用的頻率之一。該頻段用于一般用途，因此允許進(jìn)行高功率活動(dòng)，而不會(huì)對(duì)周圍的電信系統(tǒng)造成任何干擾。該頻段使用功率從幾毫瓦到幾百千瓦不等的發(fā)電機(jī)。

Vac Techniche 射頻 （RF） 發(fā)生器

這些發(fā)生器的設(shè)計(jì)是射頻電子設(shè)備、高級(jí)功率放大器保護(hù)、閉環(huán)控制和高安全系數(shù)的組合。

簡(jiǎn)單的制造和維修程序以及非常高的效率是該產(chǎn)品的一些獨(dú)特品質(zhì)。其他功能包括防止產(chǎn)生電磁干擾的安全性、連續(xù)運(yùn)行能力、易于操作和控制、聲明產(chǎn)生的錯(cuò)誤類型、傳輸和反射功率的顯示、用于控制發(fā)電機(jī)輸出功率的 0-5 V 輸入電壓（可選）、發(fā)射和反射功率值的模擬輸出（可選）、限制反射功率的能力， 以及壓縮空氣冷卻系統(tǒng)。

Vac Techniche 生產(chǎn)的該設(shè)備型號(hào)從 100 W 到 15 kW 不等，帶有半導(dǎo)體元件，最高型號(hào)為 100 kW，帶有基于真空管的放大器。

特征

  • 反射功率限制器
  • 風(fēng)冷（DC 到 RF 轉(zhuǎn)換效率大于 70%）
  • 帶觸摸屏的圖形控制、顯示和調(diào)節(jié)系統(tǒng)
  • 各種保護(hù)類型（反射功率、過熱、過流和過壓），能夠自動(dòng)限制發(fā)射功率
  • 用于遠(yuǎn)程控制發(fā)電機(jī)輸出功率的 0-5 V 輸入電壓;大于 300 W 的型號(hào)的效率超過 90%
  • 傳輸功率和反射功率值的模擬輸出
  • 輸出功率閉環(huán)控制，隨時(shí)間穩(wěn)定調(diào)整后的功率
  • 足夠的屏蔽以防止輻射和 EMI 噪聲，并采取必要措施來保護(hù)操作員的健康
  • 機(jī)架式包裝盒

 


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