Pulsed Laser desktop system PLD: Compact Desktop Thin Film PLD脈沖激光桌面鍍膜系統(tǒng)
PLD:緊湊型臺式薄膜PLD
脈沖激光沉積技術(shù)可實現(xiàn)高效、無熱燒蝕,并保持目標材料的化學計量。通過應用這種方法,它可以沉積氮化物、氧化物、超晶格、聚合物、復合材料等材料。
PLD配備了一個多目標機械手,包括三個直徑為2厘米的機械手。目標尺寸為標準尺寸。我們所有的目標機械手都是電動的,包括目標旋轉(zhuǎn)
PLD-T:具有3個蒸發(fā)源的緊湊型臺式薄膜PLD
PLD–T是一種高真空薄膜沉積系統(tǒng),能夠通過脈沖激光沉積和熱蒸發(fā)技術(shù)沉積不同的材料。
它可以在基板上沉積復雜的材料和晶體結(jié)構(gòu),只需很少的設(shè)置。
PLD–T配備了一個多目標機械手,其中包括三個直徑為2厘米的機械手。
目標尺寸為標準尺寸。我們所有的目標機械手都是電動的,包括目標旋轉(zhuǎn)
熱蒸發(fā)源(船/吊籃/盤管)
PLD–T配備了三個獨立的耐熱熱蒸發(fā)源。蒸發(fā)源支架的設(shè)計避免了源材料與其他材料的交叉污染。
光源支架的長度可以在5~10cm的范圍內(nèi)調(diào)整,滿足客戶的要求。