英國VacTechniche,真空鍍膜系統(tǒng),SEM 鍍膜機,渦輪泵浦濺射鍍膜機,DST1-300
Vac Techniche 真空鍍膜系統(tǒng)
DST1-300 具有最小的臺式占地面積之一，可為高分辨率 SEM 和 TEM 樣品制備提供 DC 和 RF 濺射。
DST1-300 系列提供以下版本，以滿足大多數(shù)實驗室應(yīng)用。
DST1-300 系列提供
臺式濺射系統(tǒng)
以下版本可滿足大多數(shù)實驗室應(yīng)用。
DST1-300 潔凈真空
室
DST1-L 至 DST3：真空室為圓柱形耐熱玻璃，外徑為 300 mm，高度為 200 mm （DST1-4） / 外徑為 170 mm x 高度為 140 mm
（DST1-2）。配有一個內(nèi)部安裝的渦輪分子泵，由隔膜泵提供支持，該隔膜泵可引入清潔真空，而不會產(chǎn)生普通擴散泵通常存在的油污染。
高真空渦輪分子泵。
隔膜前級泵。
全系列真空計。
高精度石英晶體厚度監(jiān)測器。
直觀的觸摸屏，用于控制涂層過程和快速數(shù)據(jù)輸入
用戶友好型軟件，可通過網(wǎng)絡(luò)進行更新。
控制涂層速率以獲得更精細(xì)的晶粒結(jié)構(gòu)。
手動定時和厚度濺射。
能夠記錄和繪制涂層參數(shù)圖表。
自動或半自動控制。
配備電子快門。
易于更換的樣品臺（旋轉(zhuǎn)臺為標(biāo)準(zhǔn)）。
兩年保修。
