英國(guó)VacTechniche,真空鍍膜系統(tǒng),SEM 鍍膜機(jī),DTT-Turbo 三重?zé)嵴舭l(fā),DTT 蒸發(fā)渦輪
DTT-Turbo 三重?zé)嵴舭l(fā)
SEM/TEM 鍍膜系統(tǒng)
Vac Techniche 真空鍍膜系統(tǒng)
Vac Techniche 三重?zé)嵩醋烂嫱坎紮C(jī)為各種形式的源材料（包括線、繩、顆粒和粉末）提供了一個(gè)非常通用的熱蒸發(fā)系統(tǒng)，與船/籃和線圈源支架兼容。
DTT 蒸發(fā)渦輪
分子泵
90 L/s?渦輪分子泵直接安裝在真空包絡(luò)底板上，并由 6 m3/h 兩級(jí)旋轉(zhuǎn)泵提供支持，該泵可引入清潔真空，而不會(huì)像普通擴(kuò)散泵那樣受到油污染
熱蒸發(fā)
舟/籃/盤(pán)管
臺(tái)式熱蒸發(fā)器可配備三個(gè)獨(dú)立的熱阻熱蒸發(fā)源。蒸發(fā)源支架的良好設(shè)計(jì)不會(huì)造成源材料相互污染。源架的長(zhǎng)度可在 5cm~9cm 范圍內(nèi)調(diào)整。
多層熱涂層
大尺寸腔室
高真空渦輪分子泵 300 l/s
隔膜前級(jí)泵
全系列真空計(jì)
用于多層薄膜沉積的蒸發(fā)源（舟/籃/線圈）選擇
Co – 蒸發(fā)形成合金膜
用于實(shí)時(shí)厚度測(cè)量的石英晶體監(jiān)測(cè)系統(tǒng)（精度為 1 nm）
手動(dòng)模式、電源、時(shí)間控制
自動(dòng)定時(shí)和厚度沉積
易于使用的觸摸屏控制面板
快速數(shù)據(jù)輸入
用戶友好
可通過(guò)網(wǎng)絡(luò)更新的軟件
配備電子快門(mén)
配備旋轉(zhuǎn)樣品架
500 °C 輻照基板加熱器
兩年保修
