英國(guó)VacTechniche,真空鍍膜系統(tǒng),濺射鍍膜機(jī),DST2-TGB 手套箱濺射和熱蒸發(fā),臺(tái)式濺射系統(tǒng)

英國(guó)VacTechniche,真空鍍膜系統(tǒng),濺射鍍膜機(jī),DST2-TGB 手套箱濺射和熱蒸發(fā),臺(tái)式濺射系統(tǒng)

DST2-TGB 手套箱濺射和熱蒸發(fā)

臺(tái)式濺射系統(tǒng)

Vac Techniche 真空鍍膜系統(tǒng)

DST2-TG 是雙目標(biāo)渦輪泵浦濺射鍍膜機(jī)，帶熱蒸發(fā)器，適用于手套箱，是一種多真空鍍膜機(jī)系統(tǒng)，將熱蒸發(fā)器和濺射鍍膜機(jī)結(jié)合在一個(gè)緊湊的桌面系統(tǒng)中，通過(guò) Wi-Fi 連接進(jìn)行遠(yuǎn)程系統(tǒng)控制，可通過(guò)觸摸屏和 PC 進(jìn)行控制。高真空系統(tǒng)適用于各種材料的沉積。
雙磁控管靶臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)可以在蒸發(fā)和濺射沉積之間輕松切換，以制備多層鍍膜。

DST2-TGB
手套箱系統(tǒng)

手套箱系統(tǒng)為敏感材料提供受保護(hù)的環(huán)境，防止與空氣或濕氣接觸以及不必要的相互作用。DST2-TG 帶手套箱的高真空鍍膜系統(tǒng)可在惰性氣體氣氛下的沉積過(guò)程之前或之后提供安全、清潔的基板處理，以及高度可控的腔室環(huán)境，有助于在高真空條件下實(shí)現(xiàn)高純度薄層沉積。

DST2-TGB
臺(tái)式磁控濺射鍍膜機(jī)

DST2-TG 磁控管臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)是一種高精度半/全自動(dòng)真空鍍膜系統(tǒng)，配備一個(gè)大腔室（直徑 300 毫米）和兩個(gè)直徑為 2 英寸的水冷陰極，使其適用于長(zhǎng)時(shí)間沉積。該系統(tǒng)是用于濺射、碳纖維和金屬蒸發(fā)的單一平臺(tái)。磁控管臺(tái)式濺射鍍膜機(jī)可以濺射半導(dǎo)體、電介質(zhì)和金屬靶材。濺射陰極和熱蒸發(fā)舟可以一起安裝或互換安裝，總共有三個(gè)沉積源可用。利用碳纖維也可以實(shí)現(xiàn)碳沉積。

DST2-TGB 手套箱濺射和熱蒸發(fā)

  • 濺射鍍膜機(jī)和熱蒸發(fā)器的組合，用于手套箱安裝
  • 內(nèi)置渦輪分子泵
  • 大腔室：直徑 30 厘米，高。20-25 厘米
  • 簡(jiǎn)單快速的目標(biāo)安裝：無(wú)需目標(biāo)支架
  • 利用帶背板的目標(biāo)增強(qiáng)熱傳導(dǎo)
  • 旋轉(zhuǎn)樣品架
  • 安裝在手套箱上的KF40饋入件，用于電源（直流、射頻、大電流）、真空泵軟管、水冷和氬氣/反應(yīng)氣體連接以及電氣連接。
  • 通過(guò) MFC 進(jìn)行氣體注入控制
  • 雙精度石英晶體厚度傳感器
  • Vac Coat 產(chǎn)品在全球范圍內(nèi)由公共和產(chǎn)品責(zé)任保險(xiǎn)承保，以防 Vac Coat 系統(tǒng)造成任何財(cái)產(chǎn)損失或人身傷害。

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